[发明专利]薄片取料机械手无痕组合真空吸盘

权利要求书

1.一种薄片取料机械手无痕组合真空吸盘，其特征在于：至少包括：

自上而下依次设置的吸盘顶板(1)、吸盘底板(2)、海绵密封板(4)；其中：

所述吸盘顶板(1)、吸盘底板(2)均由5A03铝合金制成；所述吸盘底板(2)上开设有多个自上而下的第二通孔；所述吸盘顶板(1)上开设有至少一个自上而下的第一通孔；所述吸盘顶板(1)的下表面和吸盘底板(2)的上表面之间设置有密封硅胶圈(3)；所述第二通孔的上端面和第一通孔的下端面均位于密封硅胶圈(3)的密封圈内；所述吸盘顶板(1)和吸盘底板(2)之间通过螺钉固定连接；在所述吸盘底板(2)的下表面与海绵密封板(4)的上表面相黏结。

2.根据权利要求1所述薄片取料机械手无痕组合真空吸盘，其特征在于：所述吸盘顶板(1)、吸盘底板(2)、海绵密封板(4)均为矩形结构；所述第一通孔位于吸盘顶板(1)的中心位置；在所述吸盘顶板(1)和吸盘底板(2)的侧壁设置有燕尾槽。

3.根据权利要求2所述薄片取料机械手无痕组合真空吸盘，其特征在于：所述密封硅胶圈(3)的厚度不小于1mm。

4.根据权利要求3所述薄片取料机械手无痕组合真空吸盘，其特征在于：所述第二通孔的孔径范围是1mm～2mm。

5.根据权利要求1-4任一项所述薄片取料机械手无痕组合真空吸盘，其特征在于：所述海绵密封板(4)的厚度范围是1.8mm～2.2mm。

6.根据权利要求5所述薄片取料机械手无痕组合真空吸盘，其特征在于：所述海绵密封板(4)的厚度是1.8mm。

7.根据权利要求5所述薄片取料机械手无痕组合真空吸盘，其特征在于：所述海绵密封板(4)的厚度是2.2mm。

8.根据权利要求5所述薄片取料机械手无痕组合真空吸盘，其特征在于：所述海绵密封板(4)的厚度是2mm。