[发明专利]用于单晶硅棒的循环水冲洗装置

权利要求书

1.一种用于单晶硅棒的循环水冲洗装置，其特征在于，所述的装置包括单晶硅棒固定台、水泵、储水箱、设置于单晶硅棒固定台上方的喷水组件和设置于单晶硅棒固定台下方的水收集箱，所述的水收集箱通过管道与储水箱连通，所述的水泵的进水管与储水箱相连接，所述的水泵的出水管与喷水组件相连接，所述的水收集箱和储水箱之间的管道中设置有过滤网。

2.根据权利要求1所述的用于单晶硅棒的循环水冲洗装置，其特征在于，所述的单晶硅棒固定台为升降式固定台。

3.根据权利要求2所述的用于单晶硅棒的循环水冲洗装置，其特征在于，所述的装置还包括一固定台支架，所述的固定台支架上设置有滑轨，所述的滑轨中设置有沿滑轨的高度方向排列的数个通孔，所述的单晶硅棒固定台的一端设置有一固定销，所述的固定销插设于一通孔中。

4.根据权利要求3所述的用于单晶硅棒的循环水冲洗装置，其特征在于，所述的单晶硅棒固定台的一端还设置有滚轮，所述的滚轮嵌设于所述的滑轨中。

5.根据权利要求1所述的用于单晶硅棒的循环水冲洗装置，其特征在于，所述的水收集箱和储水箱之间的管道中还设置有杀菌片。

6.根据权利要求1所述的用于单晶硅棒的循环水冲洗装置，其特征在于，所述的单晶硅棒固定台的表面设置有两个固定杆，被冲洗的单晶硅棒夹设于所述的两个固定杆之间。

7.根据权利要求1所述的用于单晶硅棒的循环水冲洗装置，其特征在于，所述的喷水组件包括喷头支架、水管和喷头，所述的水管和喷头均固定于所述的喷头支架上，且所述的单晶硅棒固定台位于所述的喷头的正下方，所述的水管与所述的水泵的出水管相连接。

8.根据权利要求1所述的用于单晶硅棒的循环水冲洗装置，其特征在于，所述的水收集箱设置于一高台上，所述的管道与水收集箱连通的一端高于所述的管道与储水箱连通的一端。