[发明专利]一种17%相对带宽低损耗声表滤波器及其制备方法

权利要求书

1.一种17％相对带宽低损耗声表滤波器，其特征在于，包括晶片材料，所述晶片材料上设有声表换能器和表面涂覆吸声层，所述声表换能器设计为梯形结构，包括串联谐振臂和并联谐振臂，所述串联谐振臂的一端设有输入电极、另一端设有输出电极，所述并联谐振臂的下端设有接地电极。

2.一种权利要求1所述的17％相对带宽低损耗声表滤波器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤A，选用晶片材料；

步骤B，在所述晶片材料上设计结构为梯形结构的声表换能器；

步骤C，声表换能器采用的电极材料为铜膜；

步骤D，表面涂覆吸声材料。

3.根据权利要求2所述的17％相对带宽低损耗声表滤波器的制备方法，其特征在于，所述步骤A中，采用的晶片材料为15°YX-LiNbO₃，晶片厚度为0.40～0.65μm，背面360～1000号打毛。

4.根据权利要求3所述的17％相对带宽低损耗声表滤波器的制备方法，其特征在于，所述步骤B中，梯形结构级数为五级，包含三个串联谐振臂和两个并联谐振臂，其中：

第一串联谐振臂的波长为λs1，孔径为25～31λs1，指根数为127～137根，反射栅波长为λR1＝λs1，指根数为15～22根；

第二串联谐振臂的波长为λs2，孔径为25～31λs2，指根数为95～110根，反射栅波长λR2＝λs2，指根数为15～22根；

第三串联谐振臂的波长为λs3，孔径为28～31λs3，指根数为127～137根，反射栅波长λR3＝λs3，指根数为15～22根；

第一并联谐振臂的波长为λp1，孔径为15～20λp1，指根数为115～130根，反射栅波长λR1＝λp1，指根数为5～18根，假指进行宽度和长度加权；

第二并联谐振臂P2的波长为λp2，孔径为15～20λp2，指根数为115～130根，反射栅波长λR2＝λp2，指根数为5～18根，假指进行宽度和长度加权。

5.根据权利要求2所述的17％相对带宽低损耗声表滤波器及其制备方法，其特征在于，所述步骤C中，铜膜电极材料的膜厚波长比为2％～9％。

6.根据权利要求2所述的17％相对带宽低损耗声表滤波器及其制备方法，其特征在于，所述步骤D中，采用的表面涂覆吸声材料的膜厚为0.5～5μm。