[发明专利]显影液碱液浓度测量方法及调节方法

权利要求书

1.一种显影液碱液浓度测量方法，其特征在于，包括：

数据采集：针对同一类型基板样品，搜集显影不同片数的基板样品时，在线电导率仪量测系统所量测出的显影液样品的在线碱液浓度值，以及离线电位滴定仪所量测出的显影液样品的实际碱液浓度值；

建立模型：根据量测出的在线碱液浓度值减去实际碱液浓度值得到的碱液误差值，建立碱液误差值与基板样品的片数的修正函数模型；

导入模型：将所述修正函数模型导入在线量测系统，即根据基板样品的片数得出碱液误差值，然后利用量测的在线碱液浓度值减去碱液误差值即得出实际碱液浓度值。

2.根据权利要求1所述的显影液碱液浓度测量方法，其特征在于，在所述数据采集步骤中，取在线电导率仪量测系统的多次测量值的平均值作为在线碱液浓度值的采样值，取离线电位滴定仪的多次测量值的平均值作为实际碱液浓度值的采样值。

3.根据权利要求1所述的显影液碱液浓度测量方法，其特征在于，在所述数据采集步骤中，相邻的两个采样片数之间的片数差相等。

4.根据权利要求1-3任一所述的显影液碱液浓度测量方法，其特征在于，所述修正函数模型为：

△Y＝a_n-1*x^n-1+a_(n-2)x^(n-2)+…+a₁x+a₀；

其中，△Y为碱液误差值，即在线碱液浓度值减与实际碱液浓度值的差值；x即基板样品的采样的片数。

5.一种显影液碱液浓度的调节方法，其特征在于，包括：

数据采集：针对同一类型基板样品，搜集显影不同片数的基板样品时，在线电导率仪量测系统所量测出的显影液样品的在线碱液浓度值，以及离线电位滴定仪所量测出的显影液样品的实际碱液浓度值；

建立模型：根据量测出的在线碱液浓度值减去实际碱液浓度值得到的碱液误差值，建立碱液误差值与基板样品的片数的修正函数模型；

导入模型：将所述修正函数模型导入在线量测系统，即根据基板样品的片数得出碱液误差值，然后利用量测的在线碱液浓度值减去碱液误差值即得出实际碱液浓度值；

根据理论碱液浓度值与实际碱液浓度值的差值调节显影液碱液浓度。

6.根据权利要求5所述的显影液碱液浓度的调节方法，其特征在于，在所述数据采集步骤中，取在线电导率仪量测系统的多次测量值的平均值作为在线碱液浓度值的采样值，取离线电位滴定仪的多次测量值的平均值作为实际碱液浓度值的采样值。

7.根据权利要求5所述的显影液碱液浓度的调节方法，其特征在于，在所述数据采集步骤中，相邻的两个采样片数之间的片数差相等。

8.根据权利要求5所述的显影液碱液浓度的调节方法，其特征在于，所述调节显影液碱液浓度的操作为：补充显影液原液或替换原液。

9.根据权利要求5-8任一所述的显影液碱液浓度的调节方法，其特征在于，所述修正函数模型为：△Y＝a_n-1*x^n-1+a_(n-2)x^(n-2)+…+a₁x+a₀，其中，△Y为碱液误差值，即在线碱液浓度值减与实际碱液浓度值的差值；x即基板样品的采样的片数。