[发明专利]一种优化直拉法温度控制的热场外层结构在审
| 申请号： | 201611158438.8 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108221044A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 姜舰;李晨;王雅楠;崔彬;朱秦发;徐继平;吴志强;戴小林;刘冰;索思卓 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青;熊国裕 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热场 外层结构 外层保温筒 温度信号 光口 取光筒 圆孔槽 直拉法 拉晶 挥发物 优化 温度测试信号 光强测试 石墨部件 沉积 单晶 对准 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种优化直拉法温度控制的热场外层结构，其特征在于，包括热场外层保温筒、取光筒，其中，热场外层保温筒开有圆孔槽，该圆孔槽对准温度信号取光口，取光筒的两端分别连接热场外层保温筒和温度信号取光口。
2.根据权利要求1所述的热场外层结构，其特征在于，所述热场外层保温筒包括上、下两部分，上、下保温筒之间开设所述圆孔槽。
3.根据权利要求1或2所述的热场外层结构，其特征在于，所述取光筒的两端为圆筒结构，中间部分设有卡槽。
4.根据权利要求3所述的热场外层结构，其特征在于，所述卡槽为圆形、正方形或长方形。
5.根据权利要求1所述的热场外层结构，其特征在于，所述热场外层保温筒材质为固化碳毡、软碳毡，所述取光筒材质为碳纤维、石墨或钼。
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