[发明专利]晶圆装卸台效率监控方法

权利要求书

1.一种晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于，所述晶圆装卸台效率监控方法至少包括以下步骤：

1)结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型；

2)当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模型判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置。

2.根据权利要求1所述的晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于：所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模型判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，判断所述机台的晶圆装卸台是否均闲置；若所述机台的晶圆装卸台并非均闲置，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台的晶圆装卸台均闲置，检测所述机台限制是否有在制品可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若所述机台限制有在制品可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。

3.根据权利要求1所述的晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于：所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模型判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，检测对应于在制品的某一产品批次的配方顺序中所使用的反应腔室中是否有至少一个反应腔室处于闲置状态，若没有反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若有至少一个反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。

4.根据权利要求1所述的晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于：所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模型判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，检测对应于在制品的某一产品批次的配方顺序中所使用的反应腔室是否均处于闲置状态，若并非所有的反应腔室均处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若所有的反应腔室处于闲置状态，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。

5.根据权利要求1所述的晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于：所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模型判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，若跑货中的在制品的数量大于或等于控制单元中不会闲置的晶圆的最低片数，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若跑货中的在制品的数量小于控制单元中不会闲置的晶圆的最低片数，判断跑货中的晶圆盒的数量是否小于可接受的最大工艺晶圆盒数量，若跑货中的晶圆盒的数量大于或等于可接受的最大工艺晶圆盒数量，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若跑货中的晶圆盒的数量小于可接受的最大工艺晶圆盒数量，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。

6.根据权利要求1所述的晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于：所述步骤2)中，当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模型判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置的具体方法为：当所述机台有晶圆装卸台闲置时，若跑货中的在制品的批次数量大于或等于可同时进行的最小工艺批次数量，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若跑货中的在制品的批次数量小于可同时进行的最小工艺批次数量，判断跑货中的在制品的批次数量是否小于可同时进行的最大工艺批次数量，若跑货中的在制品的批次数量大于或等于可同时进行的最大工艺批次数量，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置，若跑货中的在制品的批次数量小于可同时进行的最大工艺批次数量，检测所述机台限制是否有在制品的产品批次可进行工艺处理，若所述机台限制没有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为正常闲置；若所述机台限制有在制品的产品批次可进行工艺处理，则处于闲置状态的所述晶圆装卸台为非正常闲置。