[发明专利]一种激光分能装置

说明书

本发明涉及激光分能技术领域，提供一种激光分能装置，包括连续可调扩束镜、分束镜组件、第一聚焦组件、第二聚焦组件；所述分束镜组件包含与入射激光光轴倾斜设置的空心平面分束镜，所述空心平面分束镜包括空心透射部分和镜面反射部分；所述连续可调扩束镜对准直入射激光进行扩束，且扩束比连续可调；经扩束的准直光束进入所述空心平面分束镜后分成至少两路，一路经所述空心透射部分透射到所述第一聚焦组件，另一路经所述镜面反射部分反射到所述第二聚焦组件；解决了现有激光分能技术中固定分能器输出功率不可调的问题，实现了任意偏振态激光的分能及分能比的连续调节，从而满足输出功率连续可调的激光加工生产和工艺研发领域的分能应用需求。

技术领域

本发明涉及激光分能技术领域，特别涉及一种激光分能装置。

背景技术

激光加工具有速度快、无噪声和非接触式加工等优点，被广泛应用于激光打孔、焊接、切割、打标等领域；在高功率激光加工领域，为提高工作效率和设备集成度，通过激光分能进行多路加工成为必要。

现有技术中采用的固定分能器利用部分透射部分反射镜片或棱镜实现激光分束，结构简单可靠，但不满足输出功率连续可调的激光加工生产和工艺研发领域。

发明内容

本申请实施例提供的一种激光分能装置，解决现有激光分能技术中采用固定分能器不能实现激光输出功率连续可调的问题，实现了任意偏振态激光的分能及分能比的连续调节，以满足激光加工生产和工艺研发领域中的加工件材料不同所需的激光能量密度或功率不同或对同一材料的多样式加工。

为解决上述技术问题，本发明提供了如下技术方案：

一种激光分能装置，其特征在于，包括连续可调扩束镜、分束镜组件、第一聚焦组件、第二聚焦组件；

所述分束镜组件包含与入射激光光轴倾斜设置的空心平面分束镜，其中，所述空心平面分束镜包括空心透射部分和镜面反射部分；

所述连续可调扩束镜对准直入射激光进行扩束后出射准直光束，且所述扩束比连续可调；

所述空心平面分束镜接收所述出射光束后将所述出射光束分成至少两路，一路经过所述空心透射部分透射到所述第一聚焦组件，另一路经过所述镜面反射部分反射到所述第二聚焦组件；

所述第一聚焦组件接收到来自空心平面分束镜的透射光束后进行聚焦，并作用于第一工作面上；

所述第二聚焦组件接收到来自空心平面分束镜的反射光束后进行聚焦，并作用于第二工作面上。

进一步地，所述空心平面分束镜法线与入射光轴呈±(10°～80°)范围内夹角设置。

进一步地，所述分束镜组件还包括镜组壳体与反射镜镜座，该镜组壳体一侧设置有激光入射端口，另一侧设置有与激光入射端口同轴的激光透射端口；所述镜组壳体的底部设置有激光反射端口；

所述反射镜镜座设置于镜组壳体内部，所述空心平面分束镜固定于所述反射镜镜座上。

进一步地，所述的镜组壳体内部设置有消光螺纹。

进一步地，所述空心平面分束镜透射光束的光路上设置第一遮光器；所述空心平面分束镜反射光束的光路上设置第二遮光器。

进一步地，所述第一聚焦组件上设置第一防护罩；

所述第二聚焦组件上设置第二防护罩。

进一步地，所述的空心平面分束镜后表面具有楔角。

进一步地，所述的连续可调扩束镜和或第一聚焦组件和或第二聚焦组件的内部光学元件镀高损伤阈值增透膜；

所述空心平面分束镜镜面镀高损伤阈值的高效反射膜。