[发明专利]一种模拟多孔介质内部流动的微槽道模型在审
| 申请号： | 201611170135.8 | 申请日： | 2016-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN107036951A | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 郝鹏飞;李佳琦;谢斌;黄波;王荣;高叶 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N15/08 | 分类号： | G01N15/08 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 模拟 多孔 介质 内部 流动 微槽道 模型 | ||
【权利要求书】：
1.一种模拟多孔介质内部流动的微槽道模型，其特征在于：该模型包括硅片基底(9)，以及刻蚀在硅片基底上的入口(1)、入口腔(2)、入口段(3)、微槽道(4)、微柱阵列(5)、测量段(6)、出口腔(7)和出口(8)；微柱阵列(5)设置在微槽道(4)；所述的微槽道(4)的上游通过入口段(3)与入口腔(2)相连，微槽道(4)的下游通过测量段(6)与出口腔(7)相连；所述的微柱阵列(5)是由多个微柱交错排列而成，微柱的高度与微槽道的深度相同；在硅片基底的顶部设有玻璃盖板(10)，该玻璃盖板与微槽道和硅片基底实现密封连接。
2.根据权利要求1所述的一种模拟多孔介质内部流动的微槽道模型，其特征在于：每个微柱的截面为正方形，微柱的边长范围为10-50微米，微柱间距范围为2-10微米。
3.根据权利要求1或2所述的一种模拟多孔介质内部流动的微槽道模型，其特征在于：所述的槽道深度为20-80微米。
4.根据权利要求3所述的一种模拟多孔介质内部流动的微槽道模型，其特征在于：所述入口段(3)和测量段(3)的宽度相同，为微槽道宽度的2-3倍，其深度与微槽道的深度相同。
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