[发明专利]全自动双面曝光机有效
申请号: | 201611174238.1 | 申请日: | 2016-12-19 |
公开(公告)号: | CN106547174B | 公开(公告)日: | 2018-04-06 |
发明(设计)人: | 张方德;谢桂平 | 申请(专利权)人: | 浙江欧视达科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 温州金瓯专利事务所(普通合伙)33237 | 代理人: | 陈晖 |
地址: | 325000 浙江省温州市高新技术*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 全自动 双面 曝光 | ||
1.一种全自动双面曝光机,其特征在于:其包括机台,于同一轴线上依次设置入料区、第一面曝光区、转移翻板区、第二面曝光区以及出料区;
进料转移机构,跨设于入料区以及第一面曝光区上方,并将待曝光的板件由入料区移载至第一面曝光区;
第一曝光机构,包括可纵向升降且周向摆动的第一曝光平台,该第一曝光平台可横向滑移设置在机台的第一面曝光区内,该第一曝光平台承载进料转移机构移载的待曝光的板件,并将其移动至第一曝光模组下方,并与第一曝光模组贴合;
转移翻板机构,跨设于转移翻板区与第一面曝光区上方,并将完成第一面曝光的板件由第一面曝光区移载至转移翻板区,并将完成第一面曝光的板件由第一面翻转至第二面;
出料转移机构,跨设于转移翻板区、第二面曝光区以及出料区上方,并将完成第一面曝光的板件由转移翻板机构上送至第二面曝光区,同时将第二面曝光区的完成第二面曝光的板件送至出料区;
第二曝光机构,包括可纵向升降且周向摆动的第二曝光平台,该第二曝光平台可横向滑移设置在机台的第二面曝光区内,该第二曝光平台承载出料转移机构移载的完成第一面曝光的板件,并将其移动至第二曝光模组下方,并与第二曝光模组贴合,所述转移翻板机构包括吸盘结构,所述吸盘结构固定设置在翻转板上,所述翻转板两端铰接设置在移动架上,且在移动架两侧设置驱动机构,所述驱动机构驱使翻转板以垂直进料通道的轴线转动,且所述移动架可滑移设置在机台上,所述吸盘结构包括一个表面设置细孔的吸盘以及设置在吸盘结构上方的管道,且所述管道的风量通过可调气泵控制,根据待曝光板件的类型自动调节风量大小。
2.根据权利要求1所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,在所述入料区的出口处设置第一视觉检测机构,所述第一视觉检测机构检测待曝光的板件的定位孔的位置,并通过检测的数据调整第一曝光平台的偏转角度,使其与进料转移机构夹持的待曝光的板件的角度一致,在所述转移翻板区的进口处设置第二视觉检测机构,所述第二视觉检测机构检测翻转后的完成第一面曝光的板件的定位孔的位置,并通过检测的数据调整第二曝光平台的偏转角度,使其与出料转移机构夹持的完成第一面曝光的板件的角度一致。
3.根据权利要求1所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,所述出料转移机构包括由第一支架和第二支架构成支架、以及设置在第一支架上的用于进料的吸盘结构和设置在第二支架上的用于出料的吸盘结构,所述第一支架可纵向滑移设置在第二支架上。
4.根据权利要求1所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,所述入料区为若干进料滚轴构成的进料通道,在所述进料通道上设有拍板机构,所述拍板机构包括垂直进料方向设置的驱动机构以及设置在进料通道两侧的拍板,所述拍板与驱动机构构成滑移配合。
5.根据权利要求4所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,所述进料通道的出口处设置挡板,所述进料滚轴包括轴芯以及套设在轴芯外侧的轴套,且所述轴芯与轴套之间存在间隙。
6.根据权利要求1所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,所述第一曝光模组和第二曝光模组均设有光源组件以及上台框,在机台上固定有滚轮定位模组,所述上台框上两侧固定有可对应插置于所述滚轮定位模组上的定位块,且在定位块两侧对称设有支撑块,所述支撑块设置在固定座上,且所述支撑块的竖端与固定座之间设有滚轮。
7.根据权利要求1所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,在所述第一面曝光区和第二面曝光区的前后设置功能柜,所述功能柜与进料区或出料区并排设置。
8.根据权利要求7所述的一种全自动双面曝光机,其特征在于,所述功能柜内设有冷风干燥系统,所述功能柜内设有用于曝光光源散热的水冷系统,所述功能柜内设有用于全自动双面曝光机内部湿度调节的湿度调节系统。
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