[发明专利]一种高品质因子回音壁模微球腔的制备方法有效
| 申请号： | 201611174648.6 | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106772721B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 车凯军;汤德宇;郭长磊;许惠英;蔡志平;任昌燕;张盼 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森;戴深峻 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 品质 因子 回音壁 模微球腔 制备 方法 | ||
1.一种因子回音壁模微球腔的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
1)将毫米级石英玻璃棒固定在旋转电机上；
2)将毫米级石英玻璃棒顶端用CO2激光器剥蚀至所需微球腔大小的尺度，得微米级石英玻璃棒；
3)用CO2激光器烧蚀掉微米级石英玻璃棒顶端多余的长度，再加热微米级石英玻璃棒，得原始回音壁模微腔；
4)提高CO2激光器的输出功率，短时间灼烧原始回音壁模微腔，受热的微腔在表面张力的作用下自然形成球状，得到因子回音壁模微球腔。
2.如权利要求1一种因子回音壁模微球腔的制备方法，其特征在于在步骤1)中，所述毫米级石英玻璃棒采用超纯、羟基含量＜5ppm的石英玻璃棒。
3.如权利要求1一种因子回音壁模微球腔的制备方法，其特征在于在步骤1)中，所述旋转电机的转速为1000～60000r/min。
4.如权利要求1一种因子回音壁模微球腔的制备方法，其特征在于在步骤2)中，所述将毫米级石英玻璃棒顶端用CO2激光器剥蚀至所需微球腔大小的尺度是在二维精密步进电机帮助下，将毫米级石英玻璃棒顶端用CO2激光器剥蚀至所需微球腔大小的尺度，首先确定需要回音壁模微球腔的尺寸，然后根据所需尺寸将毫米级玻璃棒剥蚀至对应尺度；所述CO2激光器的输出功率为7.5～8.75W。
5.如权利要求1一种因子回音壁模微球腔的制备方法，其特征在于在步骤3)中，所述烧蚀掉微米级石英玻璃棒顶端多余的长度是利用高温下玻璃材质的气化现象。
6.如权利要求1一种因子回音壁模微球腔的制备方法，其特征在于在步骤3)中，烧蚀过程中CO2激光器的输出功率为3.75W。
7.如权利要求1一种因子回音壁模微球腔的制备方法，其特征在于在步骤3)中，所述再加热微米级石英玻璃棒的过程中CO2激光器的输出功率为1.25～2W。
8.如权利要求1一种因子回音壁模微球腔的制备方法，其特征在于在步骤4)中，所述提高CO2激光器的输出功率是提高至2.5～3W。
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