[发明专利]一种适配铝碳化硅基材的电阻浆料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201611174818.0 申请日: 2016-12-19
公开(公告)号: CN106879085B 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 廖玉超;苏冠贤 申请(专利权)人: 东莞珂洛赫慕电子材料科技有限公司
主分类号: H05B3/10 分类号: H05B3/10
代理公司: 44349 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 鲁慧波
地址: 523000 广东省东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 适配铝 碳化硅 基材 电阻 浆料 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种适配铝碳化硅基材的电阻浆料,其特征在于,包括有以下重量份的物料,具体为:

导电相 15%-30%

玻璃粉 43%-55%

有机相 26%-34%

助剂 1%-3%;

其中,导电相由微米银粉、纳米银粉、RuO2粉中的一种或两种或三种组成;玻璃粉由氧化硅、氧化锌、氧化铋、氧化硼、氧化铝和五氧化二磷组成;有机相由丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯、邻苯二甲酸二丁酯、柠檬酸三丁酯、乙基纤维素组成;

所述微米银粉的粒径值为1-3μm,纳米银粉的粒径值为0.05-0.2μm,RuO2粉的粒径值为0.2-1.2μm;

所述玻璃粉中氧化硅、氧化锌、氧化铋、氧化硼、氧化铝和五氧化二磷六种物料的重量份依次为:20%-30%、15%-25%、28%-42%、5%-15%、2%-6%、 5%-10%;

所述玻璃粉的粒径值小于10μm;

所述有机相中丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯、邻苯二甲酸二丁酯、柠檬酸三丁酯、乙基纤维素五种物料的重量份依次为:25%-30%、30%-45%、8%-12%、10%-15%、5%-10%;

所述有机相的粘度为20dps -50dps;

该电阻浆料的含铅量为0,固含量为67%-75%,烧结温度为500℃-520℃。

2.一种适配铝碳化硅基材的电阻浆料的制备方法,其特征在于,包括有以下工艺步骤,具体为:

a、制备玻璃粉:称取氧化硅、氧化锌、氧化铋、氧化硼、氧化铝和五氧化二磷,而后将称取好的氧化硅、氧化锌、氧化铋、氧化硼、氧化铝和五氧化二磷进行搅拌混合,待氧化硅、氧化锌、氧化铋、氧化硼、氧化铝和五氧化二磷混合均匀后,将氧化硅、氧化锌、氧化铋、氧化硼、氧化铝和五氧化二磷所组成的混合料转移至铂金坩埚内并将混合料随铂金坩埚放入至箱式电阻炉中,箱式电阻炉程序升温至1050℃-1100℃并保温60min,以使得混合料熔化成玻璃液;待箱式电阻炉保温完毕后,将玻璃液从箱式电阻炉中取出并进行水淬,水淬后的玻璃料依次进行粉碎、球磨加工以获得粒度小于10μm的玻璃粉;其中,玻璃粉中氧化硅、氧化锌、氧化铋、氧化硼、氧化铝和五氧化二磷六种物料的重量份依次为:20%-30%、15%-25%、28%-42%、5%-15%、2%-6%、 5%-10%;

b、制备有机相:称取丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯、邻苯二甲酸二丁酯、柠檬酸三丁酯、乙基纤维素,而后将丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯、邻苯二甲酸二丁酯、柠檬酸三丁酯、乙基纤维素置于分散罐中搅拌分散8h,以获得有机相,而后于有机相中添加助剂,搅拌后获得均匀透明的有机相、助剂混合溶液;其中,有机相中丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯、邻苯二甲酸二丁酯、柠檬酸三丁酯、乙基纤维素五种物料的重量份依次为:25%-30%、30%-45%、8%-12%、10%-15%、5%-10%;

c、制备电阻浆料:称取导电相粉体、玻璃粉、有机相以及助剂混合溶液,而后对导电相粉体、玻璃粉、有机相以及助剂混合溶液进行混合搅拌、三辊研磨、过滤、脱泡处理,以获得电阻浆料;其中,电阻浆料中导电相、玻璃粉、有机相、助剂三种物料的重量份依次为:15%-30%、43%-55%、26%-34%和1%-3%;

d、将介质浆料丝印于铝碳化硅基材上,经过550℃烧结10min,如此重复3次以上,得到厚度大于80μm的介质层;

e、将c步骤所得的电阻浆料丝印于介质层上,经过500℃-520℃烧结10min,得到约12μm厚的电阻层;

f、测定电阻层的方阻和重烧变化率。

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