[发明专利]一种微机械可调滤波器

权利要求书

1.一种微机械可调滤波器，其特征在于，包括基片(2)、两个梳齿电容(3)、可调电感、两个可变电容(5)和信号线(6)；所述基片(2)中部设置有基片凹槽(21)，所述可调电感包括悬浮设置在所述基片凹槽(21)内的螺线管电感(4)和微机械开关(1)，所述微机械开关(1)安装在基片(2)表面且通过静电驱动控制调节所述螺线管电感(4)；所述螺线管电感(4)两端均连接所述可变电容(5)和梳齿电容(3)，两个所述梳齿电容(3)与螺线管电感(4)通过所述信号线(6)串联在一起，两个所述可变电容(5)与螺线管电感(4)通过所述信号线(6)并联在一起；所述基片凹槽(21)采用湿法或干法刻蚀工艺制作而成；所述基片(2)的材料为高阻硅衬底，所述高阻硅衬底上设有采用热氧化或CVD工艺生长的二氧化硅或氮化硅介质层(53)；所述微机械开关(1)为悬臂梁接触式微机械开关，所述悬臂梁接触式微机械开关包括静电驱动电极(11)、第一高阻隔离电阻线(12)和第一直流驱动焊盘(13)，所述第一高阻隔离电阻线(12)中部固定在基片(2)上，所述第一高阻隔离电阻线(12)的一端安装有静电驱动电极(11)，另一端安装有第一直流驱动焊盘(13)；光刻形成所述基片(2)表面电感螺旋线圈电镀模具，电镀Au作为所述基片(2)表面电感螺旋线圈，去除种子层，并利用PECVD工艺沉积低应力Si₃N₄介质层，从而形成所述螺线管电感(4)。

2.根据权利要求1所述一种微机械可调滤波器，其特征在于，所述可变电容(5)为由静电驱动的桥式平行板电容，所述可变电容上电极(51)与对应的所述信号线(6)连接，所述可变电容下电极(52)为静电驱动电极。

3.根据权利要求2所述一种微机械可调滤波器，其特征在于，所述可变电容上电极(51)通过电镀金或电镀铜工艺制作，所述可变电容下电极(52)外覆盖有氮化硅介质层(53)，所述可变电容下电极(52)与第二高阻隔离电阻线(54)和第二直流驱动焊盘(55)依次连接。

4.根据权利要求1所述一种微机械可调滤波器，其特征在于，所述螺线管电感(4)通过电镀金或电镀铜工艺制作。

5.根据权利要求1所述一种微机械可调滤波器，其特征在于，所述梳齿电容(3)通过电镀金或电镀铜工艺制作。

6.根据权利要求1所述一种微机械可调滤波器，其特征在于，所述信号线(6)为微带线或共面波导形式的信号传输线结构。