[发明专利]一种双面散热半导体元件的制造方法在审

专利信息
申请号: 201611179082.6 申请日: 2016-12-19
公开(公告)号: CN106876342A 公开(公告)日: 2017-06-20
发明(设计)人: 曹周 申请(专利权)人: 杰群电子科技(东莞)有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L23/367;H01L21/56
代理公司: 北京品源专利代理有限公司11332 代理人: 张海英,林波
地址: 523750 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 双面 散热 半导体 元件 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种双面散热半导体元件的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1:形成具有阻挡层(2)的叠合框架(1),所述叠合框架(1)包括依次向上层叠的引线框架(11)、芯片(12)和铜桥框架(13),所述引线框架(11)上凸设有所述阻挡层(2),所述阻挡层(2)环绕所述铜桥框架(13)的外侧连续设置;

S2:向所述阻挡层(2)和所述铜桥框架(13)之间填充液态封装材料(3),所述液态封装材料(3)的上顶面不超过所述铜桥框架(13);

S3:将填充有液态封装材料(3)的叠合框架(1)固化。

2.如权利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述阻挡层(2)的高度比所述铜桥框架(13)的高度低0-0.1mm。

3.如权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述液态封装材料(3)为液态环氧树脂或绿漆。

4.如权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述液态封装材料(3)通过印刷或者灌入的方式进行填充。

5.如权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述阻挡层(2)为塑胶,所述阻挡层(2)通过注塑成型或涂覆的方式设置于所述引线框架(11)。

6.如权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述阻挡层(2)通过3D打印设置于所述引线框架(11)。

7.如权利要求6所述的制造方法,其特征在于,所述阻挡层(2)由金属、高聚合物材料或陶瓷经过3D打印形成。

8.如权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述步骤S1中,形成具有阻挡层(2)的叠合框架(1),具体包括:

形成叠合框架(1),所述叠合框架(1)包括依次层叠的引线框架(11)、芯片(12)和铜桥框架(13),在所述引线框架(11)上环绕所述引线框架(11)形成所述阻挡层(2);或

在引线框架(11)上环绕铜桥框架(13)的区域设置阻挡层(2),再将具有阻挡层(2)的引线框架(11)、芯片(12)和铜桥框架(13)形成具有阻挡层(2)的叠合框架(1)。

9.如权利要求8所述的制造方法,其特征在于,将引线框架(11)、芯片(12)和铜桥框架(13)形成叠合框架(1),具体包括:

S11:在引线框架(11)上设置芯片(12);

S12:在芯片(12)上设置铜桥框架(13);

S13:回流焊;

S14:焊线。

10.如权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,在叠合框架(1)的下表面设置有胶层(4),以防止液态封装材料(3)下漏到引线框架(11)下表面。

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