[发明专利]一种双面散热半导体元件的制造方法在审
申请号: | 201611179082.6 | 申请日: | 2016-12-19 |
公开(公告)号: | CN106876342A | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 曹周 | 申请(专利权)人: | 杰群电子科技(东莞)有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/367;H01L21/56 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 张海英,林波 |
地址: | 523750 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双面 散热 半导体 元件 制造 方法 | ||
1.一种双面散热半导体元件的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:形成具有阻挡层(2)的叠合框架(1),所述叠合框架(1)包括依次向上层叠的引线框架(11)、芯片(12)和铜桥框架(13),所述引线框架(11)上凸设有所述阻挡层(2),所述阻挡层(2)环绕所述铜桥框架(13)的外侧连续设置;
S2:向所述阻挡层(2)和所述铜桥框架(13)之间填充液态封装材料(3),所述液态封装材料(3)的上顶面不超过所述铜桥框架(13);
S3:将填充有液态封装材料(3)的叠合框架(1)固化。
2.如权利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述阻挡层(2)的高度比所述铜桥框架(13)的高度低0-0.1mm。
3.如权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述液态封装材料(3)为液态环氧树脂或绿漆。
4.如权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述液态封装材料(3)通过印刷或者灌入的方式进行填充。
5.如权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述阻挡层(2)为塑胶,所述阻挡层(2)通过注塑成型或涂覆的方式设置于所述引线框架(11)。
6.如权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述阻挡层(2)通过3D打印设置于所述引线框架(11)。
7.如权利要求6所述的制造方法,其特征在于,所述阻挡层(2)由金属、高聚合物材料或陶瓷经过3D打印形成。
8.如权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,所述步骤S1中,形成具有阻挡层(2)的叠合框架(1),具体包括:
形成叠合框架(1),所述叠合框架(1)包括依次层叠的引线框架(11)、芯片(12)和铜桥框架(13),在所述引线框架(11)上环绕所述引线框架(11)形成所述阻挡层(2);或
在引线框架(11)上环绕铜桥框架(13)的区域设置阻挡层(2),再将具有阻挡层(2)的引线框架(11)、芯片(12)和铜桥框架(13)形成具有阻挡层(2)的叠合框架(1)。
9.如权利要求8所述的制造方法,其特征在于,将引线框架(11)、芯片(12)和铜桥框架(13)形成叠合框架(1),具体包括:
S11:在引线框架(11)上设置芯片(12);
S12:在芯片(12)上设置铜桥框架(13);
S13:回流焊;
S14:焊线。
10.如权利要求1或2所述的制造方法,其特征在于,在叠合框架(1)的下表面设置有胶层(4),以防止液态封装材料(3)下漏到引线框架(11)下表面。
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