[发明专利]氧化铌靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201611179676.7 | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106747439B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 王志坚;黄培;贾帅广;黄美松;刘华;樊玉川 | 申请（专利权）人： | 湖南稀土金属材料研究院 |
| 主分类号： | C04B35/495 | 分类号： | C04B35/495;C04B35/645 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 林青中 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化铌靶材 五氧化二铌 热压烧结 预处理 铌粉 粉体 煅烧 制备 五氧化二铌粉体 粉体流动性 保护气体 表面氧化 活性氧化 空气氛围 粒度分布 石墨模具 团聚现象 氧气氛围 烧结 氧化性 有效地 致密化 粒径 能耗 阻隔 | ||
1.一种氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
将五氧化二铌粉和铌粉混合均匀，在氧气氛围或空气氛围下于600～800℃煅烧0.5～3h，得到预处理粉体；
将所述预处理粉体在保护气体氛围下于900～1200℃在石墨模具中热压烧结0.5～1h，得到氧化铌靶材，所述氧化铌靶材的化学式为Nb2Ox，4.0≤x≤4.9，其中所述石墨模具提供还原性氛围。
2.如权利要求1所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述五氧化二铌粉和所述铌粉的质量比为9～99:1。
3.如权利要求2所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述五氧化二铌粉和所述铌粉的质量比为20～80:1。
4.如权利要求1所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述热压烧结的压力为25～45MPa。
5.如权利要求1所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述预处理粉体先以300～400℃/h的速率升温至900～1200℃，然后以200～300℃/h的速率降温。
6.如权利要求1～5任一项所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述五氧化二铌粉和铌粉混合均匀的步骤具体为：将五氧化二铌粉和铌粉混合球磨，烘干。
7.如权利要求6所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述五氧化二铌粉和所述铌粉的平均粒径均为100～200μm。
8.如权利要求7所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，球磨至所述五氧化二铌粉和所述铌粉的平均粒径均为1～5μm。
9.如权利要求8所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述球磨的时间为8～12h，所述球磨的转速为250～500r/min。
10.一种氧化铌靶材，其特征在于，采用权利要求1～9任一项所述的氧化铌靶材的制备方法制得。
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