[发明专利]光加工装置

说明书

本发明涉及光加工装置，其目的在于改善输送部间歇性输送加工对象物时发生的停止位置偏离造成的加工位置偏离。本发明的光加工装置具有向加工区域(36)照射加工光(L)的光源(11)、向输送方向(B)间歇输送加工对象物(35)而使加工对象物上的被加工部分依次送入加工区域的输送部(32)、以及在被加工部分停止在加工区域上的状态下根据加工数据控制工光加工被加工部分的加工控制部(40)，进一步具有在被加工部分停止在加工区域上时检测加工对象物上的检测用标记(37)的位置的位置检测部(33、34)，加工控制部(40)根据位置检测部的检测结果，补偿输送部输送的加工对象物的停止位置偏离造成的加工位置偏离。

技术领域

本发明涉及光加工装置。

背景技术

现有的光加工装置在用加工光对长加工对象物的被加工部分进行加工时，间歇性输送加工对象物，将加工对象物的被加工部分依次送入用加工光加工的加工区域，在加工对象物停止输送期间中，对处于加工区域内的被加工部分进行光加工。

例如，专利文献1(JP特2003-205384号公报)公开了一种激光加工装置。该激光加工装置对从保持卷绕成卷状的长加工对象物的加工对象物供给部拉出加工对象物，并使得该加工对象物的被加工部分向激光加工区域移动，用激光对该加工对象物的被加工部分进行激光加工。该激光加工装置用扫描振镜(光扫描装置)进行二维扫描，向加工区域(光扫描范围)内的加工对象物的被加工部分照射光源发射的激光光束(加工光)，对加工对象物上的ITO薄膜实施图案加工，或者对以金属薄板形成的加工对象物本身实行切削加工。加工结束后，激光加工装置进一步拉出加工对象物，使得下一被加工部分移动到加工区域，对该被加工部分进行激光加工。如此，激光加工装置反复进行上述加工处理。

上述光加工装置通过间歇性地输送加工对象物，将加工对象物的被加工部分依次送入加工区域，并在加工对象物停止输送期间，对进入加工区域的被加工对象部分进行光加工。但是，出于输送装置的输送误差，可能发生停止位置偏离问题，即加工对象物的停止位置偏离目标位置。如果发生这样的停止位置偏位，受到加工光照射的被加工部分上的光照射位置便偏离需要加工的位置，从而发生加工位置偏离的问题。

发明内容

为了解决上述问题，本发明的光加工装置，其中具有：光照射部，用于向加工区域照射该加工光，其中具备发射加工光的光源；输送部，用于向规定的输送方向，间歇性地输送加工对象物，将该加工对象物的被加工面上的被加工部分依次送入所述加工区域；以及，加工控制部，用于在所述加工对象物上的被加工部分停止在所述加工区域上的状态下，根据加工数据，实行加工控制，用所述光源照射的加工光加工该被加工部分，其特征在于，具有位置检测部，用于在所述加工对象物上的被加工部分停止在所述加工区域上时，检测设于该加工对象物上的检测用标记的位置，所述加工控制部根据所述位置检测部的检测结果，补偿所述输送部输送的加工对象物的停止位置偏离所造成的加工位置偏离。

本发明对于改善加工对象物的停止位置偏离所造成的加工位置偏离具有优异的效果。

附图说明

图1是实施方式的激光图案加工装置的主要部分的结构示意图。

图2是上述激光图案加工装置中的激光发振器的一例示意图。

图3是上述激光图案加工装置中的光扫描装置的变形例的示意图。

图4是上述激光图案加工装置中的加工对象输送部的一例示意图。

图5是上述激光图案加工装置中的加工对象输送部的另一例示意图。

图6是上述激光图案加工装置中载体分别位于主扫描方向上不同位置时的激光光路的示意图。

图7是在载体未搭载扫描振镜的变形例中载体分别位于主扫描方向上不同位置时的激光光路的示意图。

图8是实施方式的激光图案加工装置实行图案加工处理的一例流程图。