[发明专利]一种阻氚涂层中氢扩散渗透性能测定装置

权利要求书

1.一种阻氚涂层中氢扩散渗透性能测定装置，其特征在于：包括样品室(1)，该样品室(1)包括外真空室和内真空室，样品室(1)与水冷机(2)连接，水冷机(2)用于为样品室(1)降温，样品室(1)的内真空室通过阀门分别与内真空室分子泵(3b)和内真空室机械泵(4b)连通，该内真空室分子泵(3b)和内真空室机械泵(4b)用于内真空室的抽真空，样品室(1)的外真空室通过四极质谱仪(8)分别与外真空室分子泵(3a)和外真空室机械泵(4a)连通，该外真空室分子泵(3a)和外真空室机械泵(4a)用于外真空室的抽真空，四极质谱仪(8)还分别与工控机(7)和离子泵(9)连通，样品室(1)通过标准漏孔(6)与进气室(5)连通；

所述的样品室(1)的内真空室(1-9)设置在外真空室(1-7)内部，内真空室(1-9)通过出气口(1-8)与外部连通，外真空室(1-7)通过进气口(1-4)与外部连通，在内真空室(1-9)顶端设置样品基座(1-5)，在样品基座(1-5)上设置测试样品(1-2)，在测试样品(1-2)四周设置感应加热装置(1-3)，感应加热装置(1-3)设置在外真空室(1-7)内；

在样品室(1)外还设置在线式红外测温仪(1-10)，该在线式红外测温仪(1-10)用于检测测试样品温度；

所述的样品基座(1-5)与测试样品(1-2)焊接；

在外真空室(1-7)的侧壁上设置水冷装置(1-6)；

在外真空室(1-7)的顶壁上设置石英观察窗(1-1)。

2.如权利要求1所述的一种阻氚涂层中氢扩散渗透性能测定装置，其特征在于：进气口(1-4)与氢气气源相连，出气口(1-8) 与四极质谱仪相连。