[发明专利]一种用于OLED检测设备的运动平台

权利要求书

1.一种用于OLED检测设备的运动平台，该平台由上至下机构依次包括：真空吸盘(18)、Z向微调台，XY方向移动台、大理石基座(1)，XY方向移动台由三套相互独立的Y方向上平行的Y1永磁直线电机(3)、Y2永磁直线电机(10)和X永磁直线电机(6)，所述Y1永磁直线电机(3)与Y2永磁直线电机(10)一侧均设置有Y向机械缓冲器(8)，所述X永磁直线电机(6)一侧设置有X向机械缓冲器(9)，其特征在于，其中Z向微调台(17)包括Z向永磁直线电机(24)、Z向机构、Z向平衡弹簧(21)与Z向载物台(20)，所述Z向载物台(20)一侧设置有楔形块(23)，所述Z向微调台(17)安装有柔性弹片(26)，简化了垂向的机构设计，减少了Z轴运动过程中的直线度误差。

2.根据权利要求1所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，所述Z向机构安装有两组机械导轨单元，所述机械导轨单元包括Z1向机械导轨与Z2向机械导轨，其中Z1向机械导轨用于楔形块与底板(25)连接，另外一组Z2向机械导轨用于楔形块(23)与Z向载物台(20)连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，所述Z向载物台(20)通过柔性弹片(26)与Z向机构的底板(25)连接。

4.根据权利要求2所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，Z向机构的所述底板(25)上安装有Z向永磁直线电机定子，且Z向永磁直线电机定子设置在Z向永磁直线电机(24)上，楔形块(23)上安装有Z向永磁直线电机动子。

5.根据权利要求2所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，所述Z向载物台(20)下端面与Z向机构的底板(25)之间安装有Z向平衡弹簧(21)，此Z向平衡弹簧(21)可补偿Z向载物台(20)与所述真空吸盘(18)的重量。

6.根据权利要求2所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，所述Z向机构内设置有光栅尺(22)，所述Z向机构中的光栅尺(22)安装于Z向机构的楔形块(23)上，所述底板(25)上还设置有读数头(13)。

7.根据权利要求1所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，Y向的导向机构为两套高精密的滚柱导轨，且滚柱导轨分别安装于大理石基座(1)Y向的两侧。

8.根据权利要求1所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，所述XY方向运动台的两侧为Y向运动方向，其中Y1永磁直线电机(3)的定子安装于大理石基座(1)上，Y1永磁直线电机(3)的动子与该侧Y1机械导轨(2)上的Y1永磁直线电机动子连接件连接，其中Y2永磁直线电机(10)的定子安装于大理石基座(1)上，Y2永磁直线电机(10)的动子与该侧Y2机械导轨(4)上的Y2永磁直线电机动子连接件(101)连接，Y1，Y2向中的读数头(13)分别固定在Y1永磁直线电机动子连接件与Y2永磁直线电机动子连接件(101)上。

9.根据权利要求1所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，所述Y1机械导轨(2)与Y2机械导轨(4)上还包括Y向反馈光栅尺(11)，且Y向反馈光栅尺(11)安装于大理石基座(1)上。

10.根据权利要求1所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，Y1机械导轨(2)、Y2机械导轨(4)之间为X向气浮导轨(5)，所述X向气浮导轨(5)中间安装有Z永磁直线电机定子(13)，以及X向反馈光栅尺(12)。

11.根据权利要求10所述的一种用于OLED检测设备的运动平台，其特征在于，X向气浮导轨(5)左右两侧与X向气浮滑块下气浮底板(14)为气浮板(15)，上盖板固定连接在两侧气浮板(15)的上端，且上盖板用于承载真空吸盘(18)，形成一个“口”字型的气浮滑块(16)。