[发明专利]基于偏振复用实现不等间隔多平面成像的装置及方法有效
申请号: | 201611189219.6 | 申请日: | 2016-12-21 |
公开(公告)号: | CN106768342B | 公开(公告)日: | 2018-07-13 |
发明(设计)人: | 袁操今;姜志俊;冯少彤;聂守平;常琛亮 | 申请(专利权)人: | 南京师范大学 |
主分类号: | G01J3/447 | 分类号: | G01J3/447 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 210024 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 成像 不等间隔 光栅 分光棱镜 多平面 偏振复用 反射镜 检偏器 偏振光 透镜 光电耦合器件 空间光调制器 扩束准直装置 传输方向 分光装置 角度选取 偏振特性 纵向分布 不均匀 起偏器 入射光 衍射级 参量 光阑 离焦 偏振 入射 束线 正交 光源 扭曲 图像 观察 研究 | ||
1.一种基于偏振复用实现不等间隔多平面成像的装置,其特征在于:所述装置包括用于分光调制的第一部分和用于聚焦成像的第二部分,第一部分包括光源(1)、起偏器(2)、扩束准直装置(3)、光阑(4)、分光装置(5)、第二分光棱镜(6)及加载有光栅A和光栅B的空间光调制器(8),各元件沿光路方向依次直线布置;其中,分光装置(5)包括偏振分光棱镜(501)和第一分光棱镜(502),物光光束r通过分光装置(5)分成两束偏振态相互正交且传输方向一致的线偏振光,且在空间光调制器(8)与第二分光棱镜(6)之间设有用于调整入射光偏振角度的半波片(7);第二部分包括与半波片(7)、光栅B位于同一直线的第三分光棱镜(10)、第四分光棱镜(12)、将光栅的衍射光聚焦于第四分光棱镜(12)的第一反射镜(9)和第二反射镜(11)、用于成像的光电耦合器件(15)及位于第四分光棱镜(12)和光电耦合器件(15)之间的第一透镜(13)和检偏器(14)。
2.根据权利要求1所述的基于偏振复用实现不等间隔多平面成像的装置,所述空间光调制器(8)的靶面一分为二,光栅A和光栅B分别加载于靶面的两个部分,且光栅A和光栅B均为相位型扭曲光栅。
3.根据权利要求1所述的基于偏振复用实现不等间隔多平面成像的装置,其特征在于:所述扩束准直装置(3)包括用于扩束的显微物镜(301)和用于准直的第二透镜(302)。
4.一种利用权利要求1所述的装置实现不等间隔多平面成像的方法,其特征在于,包括如下步骤:
(a)打开光源(1),将所需光栅加载到空间光调制器(8)上,调整光栅A和光栅B的参数,得到清晰的成像效果;
(b)光源(1)经起偏器(2)调制的线偏振光依次通过样品M的各不同层面,产生的物光光束r由分光装置(5)分成两束偏振态相互正交且传播方向一致的光束r1和光束r2,再经过第二分光棱镜(6)分别照射到空间光调制器(8)上;
(c)光束r2照射到光栅A,产生的衍射光a经第一反射镜(9)反射到第四分光棱镜(12)上;
(d)光束r1照射到光栅B,产生的衍射光b经第三分光棱镜(10)和第二反射镜(11)反射到第四分光棱镜(12)上;
(e)衍射光a和衍射光b经第四分光棱镜(12)汇合,再经由第一透镜(13)聚焦到光电耦合器件(15)接受成像;其中,通过调整第一反射镜(9)和第二反射镜(11)微调衍射级的位置,使光栅A和光栅B产生的0级相互重合,其次,通过调整检偏器(14)的角度选取特定的衍射级,观察样品M的不同深度层面。
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