[发明专利]探针结构

权利要求书

1.一种探针结构，其特征在于，包含：

两探针头，分别用于与外部电性接触；

一弹性缓冲部，形成一中空空间；

一导电部，设置于所述中空空间中进而被包覆于所述弹性缓冲部之内且具有两端分别电性连接所述两探针头；

其中当所述两探针头未与外部电性接触时，所述导电部是线性延伸于所述两探针头之间。

2.如权利要求1所述的探针结构，其特征在于，至少其中一所述探针头的一部分连接所述弹性缓冲部。

3.如权利要求1所述的探针结构，其特征在于，所述弹性缓冲部是以非线性延伸于所述两探针头之间。

4.如权利要求3所述的探针结构，其特征在于，所述弹性缓冲部是以螺旋状延伸于所述两探针头之间进而能在所述两探针头之间弹性伸缩。

5.如权利要求3所述的探针结构，其特征在于，当所述两探针头与外部电性接触时，所述导电部在所述两探针头之间形成弹性变形。

6.如权利要求1所述的探针结构，其特征在于，所述导电部是由一第一软性材料与一第二软性材料所制成，且所述第一软性材料由所述第二软性材料所包覆。

7.如权利要求1所述的探针结构，其特征在于，所述两探针头个别是导电的硬质金属。

8.如权利要求1所述的探针结构，其特征在于，所述两探针头是由微影与电镀的制程或机械加工所制成。

9.如权利要求2所述的探针结构，其特征在于，所述导电部是由微影与电镀，以及蚀刻制程所制成。

10.一种探针结构，其特征在于，包含：

两探针头，用于分别与外部电性接触；

一弹性缓冲部，形成一中空空间且以一第一延伸距离延伸于所述两探针头之间；

一导电部，设置于所述中空空间中进而被包覆于所述弹性缓冲部之内且具有两端分别电性连接所述两探针头；

其中所述导电部以一第二延伸距离延伸于所述两探针头之间，所述第二延伸距离小于所述第一延伸距离。

11.如权利要求10所述的探针结构，其特征在于，至少其中一所述探针头的一部分连接所述弹性缓冲部。

12.如权利要求10所述的探针结构，其特征在于，所述弹性缓冲部是以螺旋状延伸于所述两探针头之间进而能在所述两探针头之间弹性伸缩。

13.如权利要求10所述的探针结构，其特征在于，当所述两探针头未与外部电性接触时，所述导电部是线性延伸于所述两探针头之间。

14.如权利要求12所述的探针结构，其特征在于，当所述两探针头与外部电性接触时，所述导电部在所述两探针头之间形成弹性变形。

15.如权利要求10所述的探针结构，其特征在于，所述导电部在所述两探针头之间的一延伸方向平行所述两探针头的延伸方向。

16.一种探针装置，所述探针装置的探针包含一探针结构，其特征在于，所述探针结构包含：

两探针头，分别用于与外部电性接触；

一弹性缓冲部，形成一中空空间；

一导电部，设置于所述中空空间中进而被包覆于所述弹性缓冲部之内且具有两端分别电性连接所述两探针头；

其中当所述两探针头未与外部电性接触时，所述导电部是线性延伸于所述两探针头之间。

17.如权利要求16所述的探针装置，其特征在于，至少其中一所述探针头的一部分连接所述弹性缓冲部。

18.如权利要求16所述的探针装置，其特征在于，所述弹性缓冲部是以非线性延伸于所述两探针头之间。

19.如权利要求18所述的探针装置，其特征在于，所述弹性缓冲部是以螺旋状延伸于所述两探针头之间进而能在所述两探针头之间弹性伸缩。

20.如权利要求18所述的探针装置，其特征在于，当所述两探针头与外部电性接触时，所述导电部在所述两探针头之间形成弹性变形。

21.如权利要求16所述的探针装置，其特征在于，所述导电部是由一第一软性材料与一第二软性材料所制成，且所述第一软性材料由所述第二软性材料所包覆。