[发明专利]一种卫星盘自转的SiC外延生长主盘结构在审
| 申请号： | 201611192601.2 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106435719A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 孙国胜;杨富华;宁瑾;刘兴昉;赵永梅;王占国 | 申请（专利权）人： | 东莞市天域半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B29/36;C23C16/458 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司44228 | 代理人： | 罗晓聪 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 卫星 自转 sic 外延 生长 盘结 | ||
【权利要求书】：
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