[发明专利]一种离轴非球面的调整方法

权利要求书

1.一种离轴非球面的调整方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，安装离轴非球面，并以离轴非球面的中心为中心，在离轴非球面上选择一圆形区域；

S2，调整离轴非球面的位置，使圆形区域内的数据能够被检测；

S3，平移离轴非球面的位置，并对平移后的位置进行检测，并记录检测结果的zernike系数；

S4，建立调整量和zernike系数之间的矩阵方程；

S5，解矩阵方程，得到将离轴非球面平移到理想位置所需的调整量；

S6，通过计算得出的调整量调整离轴非球面。

2.如权利要求1所述的一种离轴非球面的调整方法，其特征在于，所述步骤S3，平移离轴非球面的位置，并对平移后的位置进行检测，并记录检测结果的zernike系数具体为：

调整被测非球面X方向平移Δx微米，检测被测离轴非球面上被选择的圆形区域，得到检测结果，记录此时的检测结果的zernike系数中的倾斜(z2x′、z3x′)，慧差(z7x′、z8x′)系数；

调整被测非球面Y方向平移Δy微米，检测被测离轴非球面上被选择的圆形区域，得到检测结果，记录此时的检测结果的zernike系数中的倾斜(z2y′、z3y′)，慧差(z7y′、z8y′)系数；

调整被测非球面Tilt X自由度旋转Δu微弧度，检测被测离轴非球面上被选择的圆形区域，得到检测结果，记录此时的检测结果的zernike系数中的倾斜(z2u′、z3u′)，慧差(z7u′、z8u′)系数；

调整被测非球面Tilt Y自由度旋转Δv微弧度，检测被测离轴非球面上被选择的圆形区域，得到检测结果，记录此时的检测结果的zernike系数中的倾斜(z2v′、z3v′)，慧差(z7v′、z8v′)系数。

3.如权利要求1所述的一种离轴非球面的调整方法，其特征在于，所述矩阵方程为：

z2x′×x/Δx+z2y′×y/Δy+z2u′×u/Δu+z2v′×v/Δv＝z2′

z3x′×x/Δx+z3y′×y/Δy+z3u′×u/Δu+z3v′×v/Δv＝z3′

z7x′×x/Δx+z7y′×y/Δy+z7u′×u/Δu+z7v′×v/Δv＝z7′z8x′×x/Δx+z8y′×y/Δy+z8u′×u/Δu+z8v′×v/Δv＝z8′

其中，所述z2′，z3′，z7′，z8′分别为被测非球面任意不在理论检测位置检测离轴非球面上选择的圆形区域内非球面面形，所得到的倾斜(z2′、z3′)以及慧差(z7′、z8′)系数；

所述x、y、u、v分别为将非球面调回理论检测位置时调整机构X、Y方向平移，绕X轴旋转以及绕Y轴旋转自由度的调整量。

4.如权利要求3所述的一种离轴非球面的调整方法，其特征在于，所述步骤S5，解矩阵方程，得到将离轴非球面平移到理想位置所需的调整量,具体为：将z2′、z3′、z7′、z8′带入所述矩阵方程中解出x、y、u、v，得到从被测非球面目前的非理论检测位置将其调回理论检测位置所需要的X、Y方向平移，绕X轴旋转以及绕Y轴旋转自由度的调整量。

5.如权利要求1所述的一种离轴非球面的调整方法，其特征在于，所述步骤S1，安装离轴非球面，并在离轴非球面上选择一圆形区域，具体为：安装离轴非球面，以离轴非球面的中心为中心，在离轴非球面上选择一圆形区域。

6.如权利要求1所述的一种离轴非球面的调整方法，其特征在于，所述离轴非球面的位置的调整是通过调整机构进行调整。

7.如权利要求1所述的一种离轴非球面的调整方法，其特征在于，所述离轴非球面平移后的位置通过干涉仪及补偿器系统进行检测。

8.如权利要求1所述的一种离轴非球面的调整方法，其特征在于，所述离轴非球面被安装在检测支撑板上。