[发明专利]一种新型微机械陀螺仪正交误差补偿结构

权利要求书

1.一种新型微机械陀螺仪正交误差补偿结构，其特征在于，补偿结构位于质量块(7)内部空腔中，所述补偿结构包括：

动齿(2)、动齿(4)、动齿(5)、动齿(7)、定齿(3)、定齿(6)、连接件(10)；动齿(2)位于动齿(4)上方，动齿(2)的一端和动齿(4)的一端均与质量块(8)的左侧内壁连接，定齿(3)一端与连接件(10)连接，定齿(3)另一端延伸至动齿(2)与动齿(4)之间；动齿(5)位于动齿(7)上方，动齿(5)的一端和动齿(7)的一端均与质量块(8)的右侧内壁连接，定齿(6)一端与连接件(10)连接，定齿(6)另一端延伸至动齿(5)与动齿(7)之间；其中，动齿(2)、动齿(4)、动齿(5)、动齿(7)与质量块(8)具有相同电位，定齿(3)、定齿(6)与连接件(10)具有相同电位，动齿(2)、动齿(4)、动齿(5)、动齿(7)、质量块(8)与定齿(3)、定齿(6)、连接件(10)之间具有一电压V_DC。

2.根据权利要求1所述的新型微机械陀螺仪正交误差补偿结构，其特征在于，补偿结构为导体，且连接件(10)固定在衬底上。

3.根据权利要求1所述的新型微机械陀螺仪正交误差补偿结构，其特征在于，动齿(2)与定齿(3)之间的间距、动齿(4)和定齿(3)之间的间距、动齿(5)与定齿(6)之间的间距、动齿(7)和定齿(6)之间的间距均相等。

4.根据权利要求1所述的新型微机械陀螺仪正交误差补偿结构，其特征在于，定齿(3)、定齿(6)、动齿(2)、动齿(7)的厚度相同，动齿(4)、动齿(5)的厚度相同，定齿(3)的厚度大于动齿(4)的厚度。

5.根据权利要求1所述的新型微机械陀螺仪正交误差补偿结构，其特征在于，质量块受到的静电力为：

$F=\frac{\mathrm{\ϵ}(t_1-t_2){\mathrm{\ΔxV}}_{DC}^2}{d_0^2}$

其中，ε为空气介电常数，t₁为动齿(2)的厚度，t₂为动齿(4)的厚度，x₀为梳齿静止时定齿与动齿的重叠长度，Δx为质量块的驱动位移，d₀为梳齿间间隙。