[发明专利]一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置在审
| 申请号： | 201611197128.7 | 申请日： | 2016-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN106480508A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 吴亮;刘理想;曹凯;汪佳;龚加玮;王琦琨;王智昊 | 申请（专利权）人： | 苏州奥趋光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/40 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215699 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氮化 晶体 湿法 腐蚀 装置 | ||
【权利要求书】：
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