[发明专利]一种用于片材的自动翻片装置、方法及太阳能电池生产线有效
申请号: | 201611199525.8 | 申请日: | 2016-12-22 |
公开(公告)号: | CN106611729B | 公开(公告)日: | 2020-01-14 |
发明(设计)人: | 林健;李建;苗为民;张文东;郭铁;孟原;于岩;刘桂东;黄云岭;田晓敏;张武科;王芳 | 申请(专利权)人: | 新奥光伏能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 11291 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 065001 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 自动 装置 方法 太阳能电池 生产线 | ||
本发明涉及太阳能电池技术领域,特别涉及一种用于片材的自动翻片装置、方法及太阳能电池生产线。该自动翻片装置包括机架组件、片材拾取机构、片材翻转机构和控制机构;所述片材拾取机构用于拾取片材并将拾取的所述片材运送到预定位置,所述片材拾取机构包括用于非接触式拾取片材的至少一个非接触式吸盘;所述片材翻转机构用于将所述片材拾取机构运送到所述预定位置的所述片材翻转180°;所述控制机构与所述片材拾取机构和片材翻转机构信号连接,用于控制所述片材拾取机构和片材翻转机构动作,以使所述片材实现自动翻面。该自动翻片装置能够减少与片材的接触,进而减小污染片材的概率、且对太阳能电池的光电转换效率影响较小。
技术领域
本发明涉及太阳能电池技术领域,特别涉及一种用于片材的自动翻片装置、方法及太阳能电池生产线。
背景技术
随着科学技术的迅猛发展,人们的节能环保意识也在不断提高,通过绿色能源代替不可再生能源已经形成一种热潮,太阳能作为一种取之不尽、用之不竭的可再生能源得到前所未有的快速发展,而太阳能电池的研制和开发日益得到重视。
硅异质结太阳能电池正是太阳能电池中的一种,而现有的硅异质结太阳能电池制备工艺包括清洗制绒、PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等离子体增强化学气相沉积法)镀膜、PVD(Physical Vapor Deposition,物理气相沉积)、丝网印刷和退火等步骤,其中,在PECVD镀膜工艺中,需要对阵列分布在托盘上的片材的正、反两面分别进行镀膜处理,因此,在镀膜过程中需要通过人工或翻片装置对片材进行翻转。
但是,现有用于片材的翻片装置在翻转过程中需要对片材进行拾取,并且在拾取过程中,翻片装置会接触片材表面,导致翻片装置上的杂质会沾到片材表面,从而污染片材、降低太阳能电池的光电转换效率。
发明内容
本发明提供了一种用于片材的自动翻片装置、方法及太阳能电池生产线,该自动翻片装置因采用非接触式吸盘对片材进行非接触式拾取,该自动翻片装置能够减少与片材的接触,进而减小污染片材的概率、且对太阳能电池的光电转换效率影响较小。
为达到上述目的,本发明提供以下技术方案:
一种用于片材的自动翻片装置,所述自动翻片装置包括机架组件、控制机构、以及安装于所述机架组件的片材拾取机构和片材翻转机构;
所述片材拾取机构用于拾取片材并将拾取的所述片材运送到预定位置,所述片材拾取机构包括用于非接触式拾取片材的至少一个非接触式吸盘;
所述片材翻转机构用于将所述片材拾取机构运送到所述预定位置的所述片材翻转180°;
所述控制机构与所述片材拾取机构和片材翻转机构信号连接,用于控制所述片材拾取机构和片材翻转机构动作,以使所述片材实现翻面。
上述自动翻片装置在使用过程中,可以设置于太阳能电池生产线的物料输送系统中,所述物料输送系统的托盘中阵列分布有硅片等片材,自动翻片装置通过片材拾取机构拾取位于物料输送系统的托盘中的片材,并将拾取的片材运送到预定位置,片材翻转机构将片材拾取机构运送到预定位置的片材翻转180°,完成翻面处理后,片材拾取机构拾取完成翻面的片材,并将片材运送回托盘上,以完成一次片材的翻面。
上述自动翻片装置通过控制机构控制片材拾取机构和片材翻转机构动作,即可实现片材的翻面动作,并且在片材的翻面过程中,片材拾取机构通过非接触式吸盘对片材进行拾取,使片材在翻面过程中,减少了片材与非接触式吸盘之间的接触机会,能够减少非接触式吸盘上的杂质沾到片材表面上,进而减小污染片材的概率。
因此,该自动翻片装置能够减少与片材的接触,进而减小污染片材的概率、且对太阳能电池的光电转换效率影响较小。
优选地,所述至少一个非接触式吸盘中,每个非接触式吸盘为伯努利吸盘。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新奥光伏能源有限公司,未经新奥光伏能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611199525.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:机械电子生产设备芯片使用安全处理系统
- 下一篇:智能装载盒
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造