[发明专利]一种IC载板细密线路的制作工艺有效
申请号: | 201611204843.9 | 申请日: | 2016-12-23 |
公开(公告)号: | CN108243583B | 公开(公告)日: | 2019-09-13 |
发明(设计)人: | 焦云峰 | 申请(专利权)人: | 无锡深南电路有限公司 |
主分类号: | H05K3/42 | 分类号: | H05K3/42;H05K3/18 |
代理公司: | 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380 | 代理人: | 徐翀 |
地址: | 214028 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 待加工板件 线路区域 干膜 铜面 非线路区域 蚀刻 制作工艺 钻孔 烧蚀 微蚀 激光烧蚀 加工板件 曝光 电镀铜 金属化 电镀 对贴 孔壁 显影 线宽 修整 激光 制作 | ||
本发明公开了一种IC载板细密线路的制作工艺,包括以下步骤:首先,对待加工板件进行钻孔;然后,对钻孔后的所述待加工板件电镀铜,将孔壁金属化;然后,对电镀后的整个所述待加工板件贴干膜;然后,对贴有干膜的所述待加工板件的线路区域进行曝光;然后,对未进行曝光的非线路区域进行显影,去除非线路区域的干膜,并蚀刻掉非线路区域的铜面;然后,在蚀刻掉非线路区域的铜面后将线路区域的干膜去掉;然后,通过激光对所述待加工板件上细密线路区域的铜面进行烧蚀;然后,对烧蚀后的铜面进行快速微蚀。该方法通过激光烧蚀和快速微蚀来修整线路,因此可以制作线宽在40um及以下线路,且操作方便。
技术领域
本发明涉及通信用IC金属基载板加工技术领域,特别地,涉及一种IC载板细密线路的制作工艺。
背景技术
随着近来云计算和大数据的兴起,通信用IC载板也得到了蓬勃发展,该类型板件线路密度非常高,以至于它所要求的线宽及间距也越来越小,目前,行业普遍采用先电镀铜,然后贴干膜蚀刻的工艺制作IC载板,但是当蚀刻间距及线宽过小时,药水无法渗入间距处,造成欠腐蚀,因此无法制作线宽在40um及以下线路。
发明内容
本发明目的在于提供一种IC载板细密线路的制作工艺,以解决现有技术中无法制作线宽在40um及以下线路的技术问题。
为实现上述目的,本发明提供一种IC载板细密线路的制作工艺,包括以下步骤:
a、对待加工板件进行钻孔;
b、对钻孔后的所述待加工板件电镀铜,将孔壁金属化;
c、对电镀后的整个所述待加工板件贴干膜;
d、对步骤c中贴有干膜的所述待加工板件的线路区域进行曝光;
e、对步骤d中未进行曝光的非线路区域进行显影,去除非线路区域的干膜,并蚀刻掉非线路区域的铜面;
f、在蚀刻掉非线路区域的铜面后将所述步骤d中线路区域的干膜去掉;
g、通过激光对所述待加工板件上细密线路区域的铜面进行烧蚀;
h、对烧蚀后的铜面进行快速微蚀。
进一步地,所述步骤b中电镀铜的厚度不大于30um。
进一步地,所述步骤g中通过UV光对所述待加工板件线路区域上多余的铜面进行烧蚀。
进一步地,所述步骤d中通过底片对贴有干膜的所述待加工板件的线路区域进行曝光。
进一步地,所述步骤c、d、e、f可省略。
本发明具有以下有益效果:本发明的一种IC载板细密线路的制作工艺,该方法通过在IC载板上钻孔,使钻孔穿过载板内层线路图形,并通过对所钻的孔进行电镀铜,使得各层线路导通,并通过激光烧蚀和快速微蚀修整线路,因此可以制作线宽在40um及以下线路,且操作方便。
附图说明
下面将参照图,对本发明作进一步详细的说明。构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1是本发明的优选实施例的流程图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的实施例进行详细说明。
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