[发明专利]一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备装置及制备方法

权利要求书

1.一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备装置，其特征在于，该装置包括分解容器(14)、第一样气钢瓶(5)、第二样气钢瓶(10)、接旋片真空泵(8)，分解容器(14)出口端连接于第一样气钢瓶(5)的入口端，第一样气钢瓶(5)出口端连接于第二样气钢瓶(10)的入口端，第二样气钢瓶(10)出口端连接于收气口；充气管线(1)分别连接第一样气钢瓶(5)和第二样气钢瓶(10)的充气端；抽气管线(9)连接于分解容器(14)、第一样气钢瓶(5)、第二样气钢瓶(10)的抽气端，抽气管线(9)连接于接旋片真空泵(8)。

2.根据权利要求1所述的一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备装置，其特征在于：所述的第一样气钢瓶(5)上安装有温度传感器I(3)、绝压传感器I(6)。

3.根据权利要求2所述的一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备装置，其特征在于：所述的第二样气钢瓶(10)上安装有温度传感器II(12)、绝压传感器II(13)。

4.根据权利要求3所述的一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备装置，其特征在于：气管线(9)连接有电阻真空计(7)。

5.一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备方法，其特征在于：具体包括以下步骤：

步骤一、将氟化氢盐放置于装置的分解容器(14)中；

步骤二、开启真空泵，将分解容器(14)、第一样气钢瓶(5)、第二样气钢瓶(10)抽真空；

步骤三、关闭抽空阀门，加热分解容器(14)；

步骤四、待反应容器的压力升高到设定值后，停止加热；

步骤五、使适量氟化氢气体进入第一样气钢瓶(5)，待第一样气钢瓶(5)稳定后，向其中充入平衡气体；

步骤六、使适量氟化氢气体第二样气钢瓶(10)，待第二样气钢瓶(10)稳定后，向其中充入平衡气体；

步骤七、计算混合气体中氟化氢浓度C。

6.根据权利要求5所述的一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备方法，其特征在于：所述步骤七中，混合气体中氟化氢浓度C按下式计算：

C＝P₁₁/P₁₂×P₂₁/P₂₂

其中：P₁₁第一级容器通入氟化氢气体后的压力值；

P₁₂第一级容器通入平衡气体后的压力值；

P₂₁第二级容器通入第一级混合气体后的压力值；

P₂₂第二级容器通入平衡气体后的压力值。

7.根据权利要求6所述的一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备方法，其特征在于：所述步骤二中，抽真空真空度抽至10Pa以下并维持30分钟。

8.根据权利要求7所述的一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备方法，其特征在于：所述步骤五中，向第一样气钢瓶(5)充入平衡气体至1～2MPa。

9.根据权利要求8所述的一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备方法，其特征在于：所述步骤六中，向第二样气钢瓶(10)充入平衡气体至1～2MPa。