[发明专利]双轴MEMS谐振式加速度传感器结构

权利要求书

1.一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，其特征在于：包括中心质量块（1）、第一至第四环岛质量块（201）~（204）、第一至第四大锚块（301）~（304）、第一至第十六Ω形支撑梁（401）~（416）、第一至第四连接梁（501）~（504）、第一至第八梳状微谐振器（601）~（608）、第一至第八小锚块（701）~（708）；

其中，第一环岛质量块（201）位于中心质量块（1）的前方；第一环岛质量块（201）的后表面与中心质量块（1）的前表面平行；第一环岛质量块（201）的左表面与中心质量块（1）的左表面齐平；第一环岛质量块（201）的右表面与中心质量块（1）的右表面齐平；第二环岛质量块（202）位于中心质量块（1）的后方；第二环岛质量块（202）的前表面与中心质量块（1）的后表面平行；第二环岛质量块（202）的左表面与中心质量块（1）的左表面齐平；第二环岛质量块（202）的右表面与中心质量块（1）的右表面齐平；第三环岛质量块（203）位于中心质量块（1）的左方；第三环岛质量块（203）的右表面与中心质量块（1）的左表面平行；第三环岛质量块（203）的前表面与中心质量块（1）的前表面齐平；第三环岛质量块（203）的后表面与中心质量块（1）的后表面齐平；第四环岛质量块（204）位于中心质量块（1）的右方；第四环岛质量块（204）的左表面与中心质量块（1）的右表面齐平；第四环岛质量块（204）的前表面与中心质量块（1）的前表面齐平；第四环岛质量块（204）的后表面与中心质量块（1）的后表面齐平；

第一大锚块（301）的前表面与第一环岛质量块（201）的前表面齐平；第一大锚块（301）的后表面与第一环岛质量块（201）的后表面齐平；第一大锚块（301）的左表面与第三环岛质量块（203）的左表面齐平；第一大锚块（301）的右表面与第三环岛质量块（203）的右表面齐平；第二大锚块（302）的前表面与第一环岛质量块（201）的前表面齐平；第二大锚块（302）的后表面与第一环岛质量块（201）的后表面齐平；第二大锚块（302）的左表面与第四环岛质量块（204）的左表面齐平；第二大锚块（302）的右表面与第四环岛质量块（204）的右表面齐平；第三大锚块（303）的前表面与第二环岛质量块（202）的前表面齐平；第三大锚块（303）的后表面与第二环岛质量块（202）的后表面齐平；第三大锚块（303）的左表面与第三环岛质量块（203）的左表面齐平；第三大锚块（303）的右表面与第三环岛质量块（203）的右表面齐平；第四大锚块（304）的前表面与第二环岛质量块（202）的前表面齐平；第四大锚块（304）的后表面与第二环岛质量块（202）的后表面齐平；第四大锚块（304）的左表面与第四环岛质量块（204）的左表面齐平；第四大锚块（304）的右表面与第四环岛质量块（204）的右表面齐平；

第一Ω形支撑梁（401）的两端分别与第一环岛质量块（201）的左表面中部和第一大锚块（301）的右表面中部固定；第二Ω形支撑梁（402）的两端分别与中心质量块（1）的左表面前部和第三环岛质量块（203）的右表面前部固定；第三Ω形支撑梁（403）的两端分别与第三环岛质量块（203）的前表面中部和第一大锚块（301）的后表面中部固定；第四Ω形支撑梁（404）的两端分别与中心质量块（1）的前表面左部和第一环岛质量块（201）的后表面左部固定；第五Ω形支撑梁（405）的两端分别与第一环岛质量块（201）的右表面中部和第二大锚块（302）的左表面中部固定；第六Ω形支撑梁（406）的两端分别与中心质量块（1）的右表面前部和第四环岛质量块（204）的左表面前部固定；第七Ω形支撑梁（407）的两端分别与中心质量块（1）的前表面右部和第一环岛质量块（201）的后表面右部固定；第八Ω形支撑梁（408）的两端分别与第四环岛质量块（204）的前表面中部和第二大锚块（302）的后表面中部固定；第九Ω形支撑梁（409）的两端分别与中心质量块（1）的左表面后部和第三环岛质量块（203）的右表面后部固定；第十Ω形支撑梁（410）的两端分别与第二环岛质量块（202）的左表面中部和第三大锚块（303）的右表面中部固定；第十一Ω形支撑梁（411）的两端分别与第三环岛质量块（203）的后表面中部和第三大锚块（303）的前表面中部固定；第十二Ω形支撑梁（412）的两端分别与中心质量块（1）的后表面左部和第二环岛质量块（202）的前表面左部固定；第十三Ω形支撑梁（413）的两端分别与中心质量块（1）的右表面后部和第四环岛质量块（204）的左表面后部固定；第十四Ω形支撑梁（414）的两端分别与第二环岛质量块（202）的右表面中部和第四大锚块（304）的左表面中部固定；第十五Ω形支撑梁（415）的两端分别与中心质量块（1）的后表面右部和第二环岛质量块（202）的前表面右部固定；第十六Ω形支撑梁（416）的两端分别与第四环岛质量块（204）的后表面中部和第四大锚块（304）的前表面中部固定；

第一连接梁（501）垂直固定于第一环岛质量块（201）的前表面中部；第二连接梁（502）垂直固定于第二环岛质量块（202）的后表面中部；第三连接梁（503）垂直固定于第三环岛质量块（203）的左表面中部；第四连接梁（504）垂直固定于第四环岛质量块（204）的右表面中部；

第一梳状微谐振器（601）的谐振梁垂直固定于第一连接梁（501）的左表面前部；第二梳状微谐振器（602）的谐振梁垂直固定于第一连接梁（501）的右表面前部；第三梳状微谐振器（603）的谐振梁垂直固定于第二连接梁（502）的左表面后部；第四梳状微谐振器（604）的谐振梁垂直固定于第二连接梁（502）的右表面后部；第五梳状微谐振器（605）的谐振梁垂直固定于第三连接梁（503）的前表面左部；第六梳状微谐振器（606）的谐振梁垂直固定于第三连接梁（503）的后表面左部；第七梳状微谐振器（607）的谐振梁垂直固定于第四连接梁（504）的前表面右部；第八梳状微谐振器（608）的谐振梁垂直固定于第四连接梁（504）的后表面右部；

第一小锚块（701）的右表面中部与第一梳状微谐振器（601）的谐振梁左端固定；第一小锚块（701）的左表面与第一大锚块（301）的左表面齐平；第二小锚块（702）的左表面中部与第二梳状微谐振器（602）的谐振梁右端固定；第二小锚块（702）的右表面与第二大锚块（302）的右表面齐平；第三小锚块（703）的右表面中部与第三梳状微谐振器（603）的谐振梁左端固定；第三小锚块（703）的左表面与第三大锚块（303）的左表面齐平；第四小锚块（704）的左表面中部与第四梳状微谐振器（604）的谐振梁右端固定；第四小锚块（704）的右表面与第四大锚块（304）的右表面齐平；第五小锚块（705）的后表面中部与第五梳状微谐振器（605）的谐振梁前端固定；第五小锚块（705）的前表面与第一大锚块（301）的前表面齐平；第六小锚块（706）的前表面中部与第六梳状微谐振器（606）的谐振梁后端固定；第六小锚块（706）的后表面与第三大锚块（303）的后表面齐平；第七小锚块（707）的后表面中部与第七梳状微谐振器（607）的谐振梁前端固定；第七小锚块（707）的前表面与第二大锚块（302）的前表面齐平；第八小锚块（708）的前表面中部与第八梳状微谐振器（608）的谐振梁后端固定；第八小锚块（708）的后表面与第四大锚块（304）的后表面齐平。