[发明专利]涂布机以及检查由该涂布机排出的糊状物的量的方法

说明书

本文公开了一种涂布机及检查由其排出的糊状物的量的方法，该涂布机能够改善生产率以及防止糊状物的浪费。涂布机包括：框架；托台，设置在框架之上，以及使母板设置在其上表面上；轨道，设置在框架之上，每个轨道沿y轴方向在托台的任一侧延伸；涂布头单元支撑件，被安装为使得其能够沿轨道在y轴方向上移动；涂布头单元，安装在涂布头单元支撑件上，使得其能够在与y轴方向垂直的x轴方向上移动，以及被配置为将糊状物的液滴排出至母板上；传感器支撑件，被安装为能够沿轨道在y轴方向上移动，以及设置在涂布头单元支撑件的相对侧上；以及传感器，安装在传感器支撑件上，使得其能够沿x轴方向移动，以及被配置为测量排出的液滴的上表面的高度。

技术领域

本公开涉及一种涂布机以及检查由该涂布机排出的糊状物的量的方法。更具体地，本公开涉及一种如下涂布机以及检查由该涂布机排出的糊状物的量的方法，该涂布机能够通过使用光谱共焦传感器测量由涂布头单元排出的糊状物液滴的体积以及基于此获得从涂布头单元排出的糊状物的量，来改善生产率并且防止糊状物的浪费。

背景技术

通常，平板显示器是用于显示图像的装置，其是比采用阴极射线管的电视机或监视器纤薄且轻。作为平板显示器，已经开发和使用了液晶显示器、等离子体显示面板、场发射显示器和有机发光二极管。

这些显示装置的制造过程包括通过涂布机排出糊状物(诸如树脂或液晶)的过程。有时，在涂布机的排出操作期间，可能由于各种因素导致在参考值之上或之下排出糊状物。

在相关技术中，进行出厂检查来解决此类问题。即，在糊状物被排出至预定数量的基板上之后，形成衡量物或剩余部分(balance)(通过堆叠一定数量的糊状物液滴而形成的物质)，以及测量衡量物的量来检查排出的糊状物的量是否合适。

然而，以这样的方式，由于该过程被延迟了形成衡量物的时间而存在生产率会被降低的问题，以及由于检查的衡量物被丢弃而存在在经济上并不高效的问题。

发明内容

本公开的一个目的是提供一种涂布机，该涂布机能够通过使用传感器(即，光谱共焦传感器)测量从涂布头单元排出的糊状物的液滴的体积以及基于此估计排出的糊状物的量，来改善生产率以及防止糊状物的浪费，因此不需要形成用于检查的额外的衡量物。

本公开的另一个目的是提供一种用于检查糊状物的量的方法，通过该方法可以检查从涂布头单元排出的糊状物的量，而无需形成用于检查的额外的衡量物，从而改善生产率以及防止糊状物的浪费。

根据本公开的一个方面，涂布机包括：框架；托台，设置在框架之上，以及使母板设置在其上表面上；轨道，设置在框架之上，以及每个轨道沿y轴方向在托台的任一侧延伸；涂布头单元支撑件，被安装为使得其能够沿轨道在y轴方向上移动；涂布头单元，安装在涂布头单元支撑件上，使得其能够在与y轴方向垂直的x轴方向上移动，以及被配置为将糊状物的液滴排出至母板上；传感器支撑件，被安装为能够沿轨道在y轴方向上移动，以及设置在涂布头单元支撑件的相对侧上；以及传感器，安装在传感器支撑件上，使得其能够沿x轴方向移动，以及被配置为测量排出的液滴的上表面的高度。

根据本公开的另一个方面，检查从涂布头单元排出至母板上的糊状物的量的方法包括：将糊状物的液滴排出至母板上；测量排出的糊状物的液滴的上表面的高度；基于测量的糊状物的液滴的上表面的高度来计算糊状物的液滴的体积；基于计算的液滴的体积来计算液滴的重量；将计算的液滴的重量与预定参考重量相比较；以及基于比较结果来控制从涂布头单元排出的糊状物的量。

根据根据本公开的示例性实施例，涂布机可以通过光谱共焦传感器来测量由涂布头单元排出的糊状物液滴的量，以及可以基于其来估计排出的糊状物的量。因此，无需在每检查排出的糊状物的量时都形成衡量物。因此，可以通过避免因形成衡量物而导致操作被延迟来提高生产率，以及可以通过防止由于糊状物在形成衡量物之后被丢弃而导致的糊状物的浪费来改善经济效率。