[发明专利]一种基板输送装置及其控制方法在审
申请号: | 201611213426.0 | 申请日: | 2016-12-23 |
公开(公告)号: | CN106494889A | 公开(公告)日: | 2017-03-15 |
发明(设计)人: | 沈洪星;刘正勇;盛俭;刘晏;李英旭;杨凤媛 | 申请(专利权)人: | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
主分类号: | B65G49/06 | 分类号: | B65G49/06 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 230013 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 输送 装置 及其 控制 方法 | ||
【权利要求书】:
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