[发明专利]基于射频微机电开关的螺旋五位分布式微机电移相器

权利要求书

1.一种基于射频微机电开关的螺旋五位分布式微机电移相器，包括：基板(45)、基板绝缘层(47)、共面波导左地线(41)、共面波导信号线(42)、共面波导右地线(44)、射频微机电开关组(43)和直流偏置点列(46)；基板(45)上沉积一层基板绝缘层(47)，共面波导左地线(41)、共面波导信号线(42)和共面波导右地线(44)分布于基板绝缘层(47)上方，射频微机电开关组(43)中每一个开关两端跨接于共面波导左地线(41)与共面波导右地线(44)上，且开关膜桥位于共面波导信号线(42)上方，其特征在于：

所述的共面波导左地线(41)、共面波导信号线(42)和共面波导右地线(44)，按照圆形螺旋状布线方式分布在基板(45)上；

所述的射频微机电开关组(43)由31个电容式射频微机电开关组成，且分别按照1个、2个、4个、8个、16个射频微机电开关分为5个单元；每个单元中的射频微机电开关并联连接，同时加载偏置电压，实现五位31种不同的相位变化。

2.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的圆形螺旋状布线方式是将共面波导左地线(41)的一端呈圆形从微机电移相器中心绕至最外圈，共面波导信号线(42)的内圈分布于共面波导左地线(41)的圆形端之外，共面波导信号线(42)的外圈分布于共面波导左地线(41)的外圈之内，共面波导右地线(44)分布于共面波导信号线(42)的内圈与外圈之间，形成由微机电移相器中心至外依次为共面波导左地线(41)的圆形端、共面波导信号线(42)的内圈、共面波导右地线(44)、共面波导信号线(42)的外圈和共面波导左地线(41)的外圈所排列的圆形螺旋状布线方式。

3.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的五位不同的相位变化，依次为11.25°、22.5°、45°、90°和180°的相位变化，通过两两组合或多个组合得到步长为11.25°的31种相位变化。

4.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的直流偏置点列(46)包括5个直流偏置点，分别对应射频微机电开关组(43)的5个开关单元，并集中布置在基板(45)上。

5.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的共面波导信号线(42)的内圈与外圈连接线处设有拐角。

6.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的共面波导左地线(41)、共面波导信号线(42)和共面波导右地线(44)均采用铜材料。

7.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的射频微机电开关组(43)的开关膜桥采用金材料。

8.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的基板(45)采用氧化铝陶瓷材料。

9.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的基板绝缘层(47)采用氮化硅材料。