[发明专利]一种直拉法生产单晶硅过程中对挂料的处理方法

权利要求书

1.一种直拉法生产单晶硅过程中对挂料的处理方法，采用反射工具对挂料进行处理，包括以下步骤：

(1)当发生挂料时将籽晶夹头部分拆下，换上反射工具。

(2)将反射工具的反射面对准挂料位置，反射的热量集中到挂料位置，通过观察窗观察挂料位置的熔化情况，使晶转、埚转同步，使热量集中的部位相对固定；

(3)待多晶块料掉落到熔体中，再进行隔离取出反射工具，换上籽晶夹头进行生产。

2.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述反射工具主要由三部分组成，分别为连接杆、石墨槽、反射金属板，连接杆的上端通过销钉连接晶升钢缆，下端通过螺纹可旋转的连接在石墨槽的上端，反射金属板通过螺钉固定在石墨槽的槽口上。

3.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述反射工具的材质为石墨与金属材料。

4.根据权利要求3所述的处理方法，其特征在于，所述石墨的灰分为P5以下。

5.根据权利要求3所述的处理方法，其特征在于，所述金属材料为钼。