[发明专利]一种大尺寸准分子灯

说明书

技术领域

本发明涉及准分子灯技术领域，具体为一种大尺寸准分子灯。

背景技术

随着科技的发展，特别是半导体，液晶，光伏等产业的发展，产生了新的工业需求，液晶面板，半导体晶片，光伏硅片逐渐大型化，批量化生产，需要在工艺处理中使用紫外线进行清洁，刻蚀等处理，并且需要实现灯的长寿命化。因此，准分子灯作为一种为液晶面板基板，半导体晶片，光伏硅片等进行清洁，蚀刻等基板处理的先进技术手段而受到关注。准分子灯作为主要放射波长200nm以下的真空紫外光的光源，已被用于多种用途中。

目前，现有技术中的准分子灯，一般由发光部，外部电极，内部电极构成。发光管由在内部封入有发光气体的发光部和在所述发光部的两端部形成的密封部构成，外部电极配置在所述发光部的外表面上，内部电极配置在所述发光部的内部。但是，市面上现有的准分子灯在设计和生产方面，都是小尺寸，灯体设计复杂，且供电方式不灵活，不利于工业现场使用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种大尺寸准分子灯，可以实现大功率准分子光源的设计和生产，经样品测试可以实现最大500W的功率，波峰在172nm，光源表面光照强度可达40mW/cm²，寿命超过3000小时，长度尺寸可以根据具体应用设计调整，解决了上述背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种大尺寸准分子灯，包括准分子灯本体，所述准分子灯本体上具有密封放电容器的一端设有密封部，且准分子灯本体的另一端形成有作为排气端头余部的端头部，所述密封部和发光部构成发光管，所述发光管采用石英玻璃制成，所述发光部的外表面配置电镀金箔的外部电极，且发光部的内部配置网状内部电极，所述外部电极采用在紫外高秀石英上电镀金箔并覆盖在发光管的周围而沿轴向延伸，所述内部电极由在发光管的内部沿管轴中心配置的杆状石英管支撑并在石英管上缠绕钼网，所述内部电极的两端与埋设在密封部内部的金属箔连接并由密封部的玻璃支撑，所述金属箔的另一端连接外部引线，所述外部引线从密封部的端部向外部引出并与接口连接。

优选的，所述密封部由将构成发光管的石英玻璃管的端部加热并压扁而形成的压紧密封部构成。

优选的，所述发光部内封有氙气作为受激发光气体。

优选的，所述外部电极的端部从发光部延伸并卷绕在发光部的密封部侧的根部上，且外部电极的端部至少延及外径从发光部朝着密封部逐渐变小的缩颈部的存在。

优选的，所述内部电极通过采用封接钼片实现密封压封。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

1、本发明通过设置将准分子灯本体的外部采用导电性能良好且不易氧化的电镀金箔制作外部电极，可根据不同应用需求沿着灯管轴向，按工艺要求以多条1-8毫米不同弧宽沿着轴向涂在高透石英管外层，两端与外电接触处可以加宽或者涂满。此外，外部电极重量轻而均匀，整个涂层厚度低于0.08毫米，几乎不增加灯管直径，最大限度的控制了安装尺寸，减少了工程造价与安全系数，并且不会对石英管造成多余应力；坚固，导电性能好，保证紫外光均匀利用。

2、本发明通过由在发光管的内部沿管轴中心配置的杆状石英管支撑内部电极，石英管既有良好的绝缘性又有良好的透光性，保证了内部电极的在准分子灯本体的轴心线，确保紫外光的均匀的法向发射。此外，内部电极通过封接钼片结构实现密封压封，保证了灯管腔体的气密性，还通过外部引线与接口连接，采用标准接口方式，方便现场使用。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图中：1-放电容器，2-密封部，3-端头部，4-发光部，5-外部电极，6-内部电极，7-外部引线，8-接口。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。