[发明专利]一种检测和评价光源平行性的方法在审
| 申请号： | 201611224745.1 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN106840608A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 张雪鹏;蔺春波;孙强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210 | 代理人： | 李青 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 评价 光源 平行 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种检测和评价光源平行性的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：
步骤一：将两块具有周期性的光栅相对放置，将待检测光源置于两块光栅一侧，CCD置于两块光栅另一侧；
步骤二：待检光源在第一光栅表面上形成的波面半径为R1，在第二光栅表面上形成的波面半径为R2；待检光源投射到第一光栅的像透过第二光栅形成莫尔条纹，通过CCD测得；
步骤三：根据莫尔条纹的宽度、第一光栅在第二光栅上像的放大倍率，两个光栅之间的距离和夹角和第一光栅与第二光栅的周期，通过MATLAB计算得到待检光源在第一光栅表面的波面半径R1，R1作为待检光源平行性的评价手段。
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