[发明专利]一种离子束的传输系统

权利要求书

1.一种离子束的传输系统，其特征在于，所述传输系统包括：离子源、第一组合螺线管、第一真空腔室、四象限限束探针、双向校正磁铁、第二组合螺线管及第二真空腔室；

其中，所述离子源、所述第一真空腔室及所述第二真空腔室通过真空管道依次连接；所述第一组合螺线管设置在所述离子源与所述第一真空腔室之间；所述四象限限束探针设置在所述第一真空腔室上；所述双向校正磁铁设置在所述第一真空腔室与所述第二真空腔室之间；所述第二组合螺线管设置在所述双向校正磁铁与所述第二真空腔室之间；

所述第一组合螺线管及所述第二组合螺线管用于对离子束流聚焦和控制离子束流的方向；所述四象限限束探针用于控制所述离子束流的流强、尺寸及形状。

2.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述第一组合螺线管设置在所述离子源与所述第一真空腔室之间包括：

所述第一组合螺线管的中心设置有第一通孔，所述第一通孔与所述真空管道相匹配；

所述第一组合螺线管通过所述第一通孔安装在所述离子源与所述第一真空腔室之间的真空管道上。

3.根据权利要求2所述的传输系统，其特征在于，所述第二组合螺线管设置在所述双向校正磁铁与所述第二真空腔室之间包括：

所述第二组合螺线管的中心设置有第二通孔，所述第二通孔与所述真空管道相匹配；

所述第二组合螺线管通过所述第二通孔安装在所述双向校正磁铁与所述第二真空腔室之间的真空管道上。

4.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述第一组合螺线管包括：螺线管线圈、双向校正磁铁线圈及磁厄回路；

所述第二组合螺线管包括：螺线管线圈、双向校正磁铁线圈及磁厄回路。

5.根据权利要求4所述的传输系统，其特征在于，所述第一组合螺线管及所述第二组合螺线管用于对离子束流聚焦和控制离子束流的方向包括：

所述螺线管线圈用于对所述离子束流聚焦；

所述双向校正磁铁线圈用于控制所述离子束流在水平方向和垂直方向的偏移量；

所述磁厄回路用于固定所述螺线管线圈及所述双向校正磁铁线圈并增强所述螺线管线圈及所述双向校正磁铁线圈的磁性。

6.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述四象限限束探针设置在所述第一真空腔室上包括：

所述四象限限束探针包括：四个限束探针；

所述四个限束探针任意一个限束探针包括：电机驱动机构、真空法兰、伸缩连接杆及挡束测量板；

所述四个限束探针通过所述真空法兰安装在所述第一真空腔室上，且所述四个限束探针在所述离子束流垂直面上相邻两个限束探针之间成90°；

所述四个限束探针相对设置的两个限束探针为一组限束探针。

7.根据权利要求6所述的传输系统，其特征在于，所述四象限限束探针用于控制所述离子束流的流强、尺寸及形状包括：

所述电机驱动机构控制所述一组限束探针中相对设置的两个限束探针的挡束测量板之间的距离；

当所述一组限束探针中相对设置的两个限束探针的挡束测量板之间的距离减小时，所述离子束流的流强减小；

当所述一组限束探针中相对设置的两个限束探针的挡束测量板之间的距离增大时，所述离子束流的流强增大；

当所述一组限束探针中相对设置的两个限束探针的挡束测量板之间的距离减小或增大时，所述离子束流的尺寸及形状进行相应的改变。

8.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述离子源用于产生1mA～1A量级的强流离子束。

9.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述真空管道包括：

制冷结构，所述制冷结构用于对所述真空管道进行降温。