[发明专利]一种全固态电致变色玻璃器件及其制备方法

权利要求书

1.一种全固态电致变色玻璃器件，包括透明基底，其特征在于，还包括生长在透明基底上，且依次设置的底层导电层、至少两层电致变色层Ⅰ和电致变色层Ⅱ、离子存储层、顶层导电层；电致变色层Ⅰ比电致变色层Ⅱ的氧含量低。

2.根据权利要求1所述的全固态电致变色玻璃器件，其特征在于，按照重量百分比计算，所述电致变色层Ⅰ中氧元素的含量比电致变色层Ⅱ中含量少1％～20％。

3.根据权利要求1所述的全固态电致变色玻璃器件，其特征在于，所述离子存储层是与电致变色层Ⅰ、电致变色层Ⅱ互为阴阳极的电致变色层和离子的混合层。

4.根据权利要求3所述的全固态电致变色玻璃器件，其特征在于，所述离子存储层本体材料选自氧化镍、氧化钴、氧化铁、氧化锰、氧化铬、氧化铑、氧化铱、氧化镍钨、氧化镍钒、氧化镍锰、氧化镍铝中的一种或几种，离子源选自氢离子、锂离子、钠离子、钾离子、镁离子中的一种或几种，离子掺杂量在0.1～10％；离子存储层的厚度为100～350nm。

5.根据权利要求1所述的全固态电致变色玻璃器件，其特征在于，所述电致变色层Ⅰ、电致变色层Ⅱ的材料选自氧化钛、氧化钒、氧化锆、氧化铌、氧化钼、氧化钽、氧化钨中的一种或者几种；电致变色层Ⅰ的厚度为300～1000nm，电致变色层Ⅱ的厚度为150～500nm。

6.根据权利要求1所述的全固态电致变色玻璃器件，其特征在于，所述电致变色层Ⅰ中，金属原子与氧原子的摩尔比为1:(2～3)；所述电致变色层Ⅱ中，金属原子与氧原子的摩尔比为1:(2.5～3.5)。

7.一种权利要求1所述的全固态电致变色玻璃器件的制备方法，其特征在于，包括：依次在透明基底生长底层导电层、至少两层电致变色层Ⅰ和电致变色层Ⅱ、离子存储层、顶层导电层。

8.根据权利要求7所述的全固态电致变色玻璃器件的制备方法，其特征在于，所述电致变色层Ⅰ、电致变色层Ⅱ在磁控溅射系统中完成，电致变色层Ⅰ制备过程中的温度比电致变色层Ⅱ低50～200℃。

9.根据权利要求7或8所述的全固态电致变色玻璃器件的制备方法，其特征在于，所述电致变色层Ⅰ制备过程中的工作气压比电致变色层Ⅱ低0.1～0.3Pa。

10.根据权利要求7所述的全固态电致变色玻璃器件的制备方法，其特征在于，所有层制备后进行热处理，热处理包括真空退火、气氛退火、大气退火的一种或几种，退火温度200-450℃，退火时间15-200min，真空退火时真空度为1*10^-2～10^-4Pa，气氛退火时真空度为10^-1Pa，选择氮气气氛。