[发明专利]一种磷酸酯表面活性剂的合成工艺及其应用在审
| 申请号： | 201611231281.7 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108250234A | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 潘依君;荆建芬;张建;杨俊雅;王春梅;宋凯;蔡鑫元;姚颖;杜玲曦 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C07F9/09 | 分类号： | C07F9/09;C07F9/11;C08G65/327;B01F17/20;C09G1/02;C23F3/04 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;沈汶波 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磷酸酯表面活性剂 合成工艺 水解 醇类 化学机械抛光浆料 储存稳定性 反应物混合 五氧化二磷 去离子水 市场应用 温度降低 酯化反应 加料 单双酯 均匀性 磷酸酯 预热 酯化 应用 升高 | ||
1.一种磷酸酯表面活性剂的合成工艺，其特征在于，包括：
步骤一：将醇类预热；
步骤二：加入五氧化二磷，进行酯化反应；
步骤三：加入去离子水进行水解。制得含单双酯的磷酸酯。
2.如权利要求1所述的合成工艺，其特征在于，所述醇类包括脂肪醇、芳香醇、烷基聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚中的一种或多种。
3.如权利要求2所述的合成工艺，其特征在于，所述醇类为含有C8～C22的烷基或烷基酚的聚氧乙烯醚。
4.如权利要求3所述的合成工艺，其特征在于，所述聚氧乙烯醚的环氧乙烷聚合度为3～20。
5.如权利要求1所述的合成工艺，其特征在于，所述醇类与所述五氧化二磷的质量比为：2:1～25:1。
6.如权利要求1所述的合成工艺，其特征在于，所述去离子水的用量为所述醇类的用量的0.5％～5％。
7.如权利要求1所述的合成工艺，其特征在于，所述醇类的预热及五氧化二磷的投料的温度为30～60℃。
8.如权利要求1所述的合成工艺，其特征在于，所述酯化的温度为60～80℃，所述酯化的时间为2～5小时。
9.如权利要求1所述的合成工艺，其特征在于，所述水解的温度为60～90℃，所述水解的时间为2～20小时。
10.一种化学机械抛光液，其特征在于，包括利用如权利要求1-9所述的合成工艺制备的磷酸酯表面活性剂，还包含研磨颗粒，腐蚀抑制剂，金属络合剂，氧化剂。
11.一种如权利要求10任一所述的化学机械抛光液在抛光金属铜中的应用。
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