[发明专利]石英晶片腐蚀装置

权利要求书

1.一种石英晶片腐蚀装置，包括凸轮机构，凸轮机构包括凸轮和与凸轮下端面偏心连接的转轴，其特征在于，所述凸轮内部靠近大端一侧设置有第一空腔和第二空腔，所述第一空腔和第二空腔在垂直方向上从上至下依次排列，所述第一空腔内装有腐蚀液，所述第二空腔内装有清洁液；所述第一空腔的出口处设置有遮挡第一空腔的第一挡片，第二空腔的出口处设置有遮挡第二空腔的第二挡片，所述凸轮的侧壁上分别设置有供所述第一挡片和第二挡片滑动的两条凹槽，所述第一挡片和第二挡片与相应的凹槽之间设置有滑臂，所述滑臂的侧壁与所述挡片的侧壁固定连接，所述滑臂嵌入所述凹槽，所述滑臂的另一侧壁通过压簧与所述凹槽侧壁连接，在所述凸轮的运动轨迹上设置有可与所述第一挡片相抵的第一凸块以及可与所述第二挡片相抵的第二凸块，所述第一凸块和第二凸块分别位于所述凸轮的两侧，所述凸轮的下方设置有运送晶片的传送装置，所述转轴下端连接有第一齿轮，所述第一齿轮连接有动力装置。

2.根据权利要求1所述的石英晶片腐蚀装置，其特征在于，所述动力装置为电机，所述电机的输出轴同轴连接有传动齿轮。

3.根据权利要求2所述的石英晶片腐蚀装置，其特征在于，所述第一齿轮啮合有第二齿轮。

4.根据权利要求3所述的石英晶片腐蚀装置，其特征在于，所述传送装置为传送台，所述传送台的侧面设置有齿条，所述齿条与所述第二齿轮啮合。

5.根据权利要求4所述的石英晶片腐蚀装置，其特征在于，所述第一齿轮与所述传动齿轮啮合。

6.根据权利要求1所述的石英晶片腐蚀装置，其特征在于，所述第一齿轮与所述凸轮之间设置有一圆盘，所述圆盘与所述转轴固定连接，所述圆盘上设置有与第一空腔和第二空腔出口相对的通孔。

7.根据权利要求1所述的石英晶片腐蚀装置，其特征在于，所述第一空腔和第二空腔的腔体横截面呈弧形，所述腔体的弯曲方向与凸轮的旋转方向一致。