[发明专利]一种低压状态下炉管检测装置和检测方法

权利要求书

1.一种低压状态下炉管检测装置，其特征在于，包括炉管Tube、气体控制机、多个流量控制器MFC、抽气泵Pump、主阀MV以及压力检测装置，所述气体控制机通过多个管路与炉管Tube连接，每一个管路上设置一个流量控制器MFC，抽气泵Pump通过主管路与炉管Tube连接，主管路上设置有控制抽气泵Pump抽气速率的主阀MV，所述压力检测装置通过管路与Tube连接；

每一个所述流量控制器MFC，用于当气体控制机通过各管路向炉管Tube进气时，实时检测和控制各路管路的气体流量，通过与标准气体流量进行比较来判断流量控制器MFC是否处于正常状态；

所述压力检测装置，用于实时检测炉管Tube内的气体压力值，并通过与标准压力值进行比较判断该压力检测装置是否处于正常状态；

所述抽气泵Pump，用于向炉管Tube中抽入大气，通过比较抽气时主阀MV的开度与标准开度判断该抽气泵Pump是否处于正常状态。

2.如权利要求1所述的一种低压状态下炉管检测装置，其特征在于，所述压力检测装置包括压力计VG1和压力计VG2，所述压力计VG1和压力计VG2均通过管路与炉管Tube连接。

3.如权利要求2所述的一种低压状态下炉管检测装置，其特征在于，所述压力计VG1的量程为0-10T，所述压力计VG2的量程为0-1000T。

4.一种低压状态下炉管检测方法，其特征在于，包括：

S1，当气体控制机通过各管路向炉管Tube进气时，通过设置在管路上的流量控制器MFC实时检测和控制各路管路的气体流量，并通过与标准气体流量进行比较来判断每一个流量控制器MFC是否处于正常状态；

S2，通过与炉管Tube连接的压力检测装置实时检测炉管Tube内的气体压力值，并通过与标准压力值进行比较判断该压力检测装置是否处于正常状态；

S3，当通过抽气泵Pump向炉管Tube中抽入大气时，通过比较抽气时对应的主阀MV的开度与标准开度判断该抽气泵Pump是否处于正常状态。

5.如权利要求4所述的一种低压状态下炉管检测方法，其特征在于，所述步骤S1具体包括：

S11，对于每一管路，气体控制机通过该管路向炉管Tube中输送第一预设流量的气体；

S12，设置于该管路上的流量控制器MFC检测管路上的进气流量，并将检测的进气流量与第一预设流量进行比较，根据比较结果判断该流量控制器MFC是否正常。

6.如权利要求5所述的一种低压状态下炉管检测方法，其特征在于，所述步骤S12中根据比较结果判断该流量控制器MFC是否正常具体包括：

计算检测的进气流量与第一预设流量之间的偏差率是否在第一预设范围内，若在，则该流量控制器MFC正常，若不在，则该流量控制器MFC不正常。

7.如权利要求4所述的一种低压状态下炉管检测方法，其特征在于，所述步骤S2具体包括：

逐渐加大单个管路上的进气流量值，压力检测装置实时检测炉管内气体的压力值，通过压力值变化速率与标准变化速率的比较结果判断压力检测装置是否正常。

8.如权利要求4所述的一种低压状态下炉管检测方法，其特征在于，所述步骤S3具体包括：

S31，通过气体控制机向炉管Tube中输送第二预设流量的气体；

S32，通过抽气泵Pump向炉管Tube中抽入大气，使得压力检测装置检测的压力值为预设压力值；

S33，将此时的主阀MV的开度与标准开度进行比较，根据比较结果判断该抽气泵Pump是否正常。

9.如权利要求8所述的一种低压状态下炉管检测方法，其特征在于，所述步骤S33具体包括：

将此时的主阀MV的开度与标准开度进行比较，若主阀MV的开度与标准开度之间的偏差在第二预设范围内，则该抽气泵pump正常，否则，该抽气泵Pump不正常。