[发明专利]磁光等离子生物传感器在审
| 申请号： | 201611239414.5 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN106841119A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 秦俊;夏瞻;毕磊 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/552 | 分类号： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 成都惠迪专利事务所(普通合伙)51215 | 代理人： | 刘勋 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子 生物 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.磁光等离子生物传感器，其特征在于，包括二氧化硅衬底和金层，在二氧化硅衬底上，在衬底和金层之间，至衬底至金层方向依次设置有：氮化钛层、二氧化硅层、钇铁石榴石层、掺铈钇铁石榴石层。
2.如权利要求1所述的磁光等离子生物传感器，其特征在于，各层厚度为：
氮化钛层44nm、二氧化硅层15nm、钇铁石榴石层52nm、掺铈钇铁石榴石层48nm、金层10nm。
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