[发明专利]一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统有效
| 申请号： | 201611245753.4 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN106501551B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 曹弘毅;张雷;姜明顺;隋青美;曹玉强;张法业 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01Q60/40 | 分类号： | G01Q60/40;G01Q60/24;G01Q70/16;G01Q70/08 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 250061 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光纤 原子 显微镜 探头 系统 | ||
【说明书】：
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