[发明专利]基板传送装置

权利要求书

1.一种基板传送装置，其中，包括：

支撑台，其设置于支撑基板的装载台的上方；

第一块体，其被所述支撑台支撑；

传送带，其具备固定有所述第一块体的第一部分，及以垂直轴为准位于所述第一部分的相反侧的第二部分；

第二块体，其固定于所述传送带的所述第二部分，随着所述传送带的旋转向垂直方向移动；以及

把持单元，其与所述第二块体连接并把持所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，

在所述第二块体与所述把持单元之间具有移动模块，所述移动模块使所述把持单元向垂直方向移动。

3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其中，

所述第二块体与所述把持单元通过垂直延长的连杆连接，

所述移动模块使所述连杆向垂直方向移动。

4.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，

所述第一块体能够沿着所述支撑台水平移动。