[发明专利]一种等离子体处理装置及其射频滤波电路在审
| 申请号： | 201611254289.5 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN108270412A | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 梁洁;崔强;叶如彬 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H1/02 | 分类号： | H03H1/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 潘朱慧 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滤波电路 射频 二级滤波器 加热装置 直流电源 一级滤波器 等离子体处理装置 滤波器 并行连接 射频信号 加热 过滤 应用 | ||
1.一种射频滤波电路，其特征在于，包括，一级滤波器和二级滤波器，所述二级滤波器包括两个或两个以上的滤波器并行连接，所述一级滤波器通过一开关可选择地和二级滤波器中的其中之一相连。
2.如权利要求1所述的射频滤波电路，其特征在于，所述射频滤波电路还包括一加热装置及一直流电源，所述直流电源用于对所述加热装置进行加热；所述一级滤波器和二级滤波器设置于所述加热装置及所述直流电源之间，用于过滤射频信号自所述加热装置进入所述直流电源。
3.如权利要求1所述的射频滤波电路，其特征在于，所述射频滤波电路还包括一直流电极及一直流电源，所述一级滤波器和二级滤波器设置于所述直流电极及所述直流电源之间，用于过滤射频信号自所述直流电极进入所述直流电源。
4.如权利要求1所述的射频滤波电路，其特征在于，所述一级滤波器和二级滤波器分别包括至少一组共模电感。
5.如权利要求2所述的射频滤波电路，其特征在于，所述加热装置设置在所述一级滤波器的输入端。
6.如权利要求3所述的射频滤波电路，其特征在于，所述直流电极设置在所述一级滤波器的输入端。
7.如权利要求2或3所述的射频滤波电路，其特征在于，所述直流电源设置在所述二级滤波器的输出端。
8.如权利要求1所述的射频滤波电路，其特征在于，所述二级滤波器并联的两个或两个以上的滤波器用于过滤不同频率的射频信号。
9.如权利要求1所述的射频滤波电路，其特征在于，所述一级滤波器和二级滤波器分别用于过滤不同频率的射频信号。
10.如权利要求1所述的射频滤波电路，其特征在于，所述一级滤波器用于过滤源射频信号，所述二级滤波器用于过滤偏置射频信号。
11.如权利要求1所述的射频滤波电路，其特征在于，所述一级滤波器用于过滤偏置射频信号，所述二级滤波器用于过滤源射频信号。
12.如权利要求1所述的射频滤波电路，其特征在于，所述第一滤波器用于过滤60MHZ的射频信号，所述二级滤波器分别用于过滤2MHZ和13.56MHZ的射频信号。
13.一种等离子体处理装置，其特征在于，所述处理装置包括：
一反应腔，一静电卡盘设置在所述反应腔内；
射频功率源，用于对所述反应腔提供至少两个不同频率的射频信号；
所述静电卡盘内部设置一加热装置，一直流电源用于对所述加热装置施加直流电源；
所述加热装置与所述直流电源之间设置一射频滤波电路，所述射频滤波电路具有如权利要求1-12任一项所述的特征。
14.一种等离子体处理装置，其特征在于，所述处理装置包括：
一反应腔，一静电卡盘设置在所述反应腔内；
射频功率源，用于对所述反应腔提供至少两个不同频率的射频信号；
所述静电卡盘内部设置一直流电极，一直流电源用于对所述直流电极施加直流电源；
所述直流电极与所述直流电源之间设置一射频滤波电路，所述射频滤波电路具有如权利要求1-12任一项所述的特征。
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