[发明专利]荫罩、荫罩的制造方法和显示装置的制造方法

说明书

本发明提供一种所堆积的成膜材料不易剥落的荫罩和使用该荫罩制造的显示装置。在通过蒸镀或者溅射使成膜材料堆积的成膜处理中用于图案形成的荫罩，其包括：设置在与成膜对象物相对的一侧的第1树脂膜；形成有缝隙的、设置在上述第1树脂膜的上方的金属部；和以覆盖上述金属部的上方的至少一部分的方式设置的第2树脂膜，上述第2树脂膜设置在暴露于上述成膜材料的一侧，上述第2树脂膜的表面被粗化。

技术领域

本发明涉及荫罩、荫罩的制造方法和使用荫罩的显示装置的制造方法。

背景技术

近年来，使用有机EL(Electro-luminescent：电致发光)元件的有机EL显示装置正在实用化，在形成有机EL元件的有机层、阴极电极时，有时采用蒸镀法，为了使上述的有机层、阴极电极形成为所期望的形状，使用将多个精细的缝隙平行地配置而构成的荫罩。随着显示装置的高精细化、高画质化的发展，该荫罩的开发也正在发展。荫罩也被称为蒸镀掩模、金属掩模。

例如，专利文献1公开了通过光刻法形成蒸镀掩模，该蒸镀掩模通过将设置有缝隙的金属掩模、和设置有要蒸镀制作在与该缝隙重叠的位置的图案的树脂掩模层叠而形成，由此，使蒸镀掩模的加工精度高精细化。

在专利文献2中公开了，在基板上形成有机EL层的有机EL用金属掩模中，在该有机EL用金属掩模的、蒸镀时与基板相对的一面侧的显示部的外周设置树脂的突起部，由此防止金属掩模和基板的接触，从而防止异物和伤导致的基板表面的损伤。

另外，专利文献3公开了，使蒸镀掩模紧贴在基板的表面，从蒸镀源通过蒸镀掩模的开口部将蒸镀材料蒸镀在基板的表面来形成图案的蒸镀方法中，通过对与蒸镀掩模的基板表面相对的表面实施喷砂处理来进行粗化，由此防止蒸镀材料的剥离。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-241667号公报

专利文献2：日本特开2007-95411号公报

专利文献3：日本特开2003-253434号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

如上述专利文献1和2所公开，表面由树脂形成的蒸镀掩模与表面由金属形成的蒸镀掩模相比表面平滑，所以，有时堆积在蒸镀掩模表面的膜发生剥落。在堆积在蒸镀掩模表面的膜发生剥落的情况下，剥落了的膜污染蒸镀源，由被污染了的蒸镀源形成的膜混入了杂质。

另外，如上述专利文献3所公开，在粗化处理的对象为表面由树脂形成的蒸镀掩模的情况下，有时通过喷砂处理进行粗化时，树脂自身产生剥离。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种在表面设置有树脂的成膜处理中用于图案形成的荫罩，在粗化处理时树脂不发生剥离，堆积在树脂的成膜材料难以发生剥落的荫罩和使用该荫罩制造的显示装置。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的一个方式是一种荫罩，其为将成膜材料通过蒸镀或者溅射而堆积来成膜的处理中用于图案形成的荫罩，其特征在于，包括：设置在与成膜对象物相对的一侧的第1树脂膜；形成有缝隙的、设置在上述第1树脂膜的上方的金属部；和以覆盖上述金属部的上方的至少一部分的方式设置的第2树脂膜，上述第2树脂膜设置在暴露于上述成膜材料的一侧，上述第2树脂膜的表面被粗化。