[发明专利]用于监测人体生理信号的柔性压力传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种用于监测人体生理信号的柔性压力传感器制造方法，其特征在于，所述方法包括：

在预设有微结构列阵的模具工作面的预设区域上，印制柔性导电材料，所述柔性导电材料由金属颗粒与柔性聚合物混合构成；

采用预设温度对印制好的柔性导电材料进行加热固化，形成下电极薄膜；

在下电极薄膜和模具工作面上，印制柔性聚合物并固化，形成用于支撑下电极薄膜的柔性基板；

采用剥离工艺，将模具从下电极薄膜和柔性基板的表面剥离，形成表面具有多个导电微结构的下电极薄膜和表面具有多个支撑微结构的柔性基板；

将预先制备好的上电极薄膜同时与下电极薄膜的导电微结构和柔性基板的支撑微结构接触并封装在一起，形成柔性压敏电阻，所述柔性压敏电阻用于与相应信号监测电路连接，组成柔性压力传感器。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述柔性聚合物为聚二甲基硅氧烷，所述金属颗粒为金、银、铜中任一种。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述模具由硅晶片制备而成。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在印制柔性导电材料之前，所述方法还包括：

采用三氯硅烷对所述模具工作面进行表面处理。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述导电微结构和所述支撑微结构的形状均为锥型。

6.根据权利要求1-5任一项所述的方法，其特征在于，在开始制备柔性压力传感器之前，所述方法还包括：

采用预设的光刻工艺，制备具有预设图样的掩膜，所述预设图样包括多个微米级或纳米级开口；

将制备好的掩膜放置在还未开模的模具工作面，采用预设刻蚀工艺，在模具的工作面刻蚀出与预设图样对应的多个微结构，形成在工作面具有所需微结构列阵的模具。

7.一种用于监测人体生理信号的柔性压力传感器，采用权利要求1所述的方法制备，所述柔性压力传感器包括：柔性压敏电阻和相应的监测电路，其特征在于，所述柔性压敏电阻包括：

上电极薄膜，用于作为柔性压敏电阻的一个电极，与监测电路电连接；

下电极薄膜，与所述上电极薄膜的接触面上具有按预设规律分布的导电微结构，用于作为柔性压敏电阻的另一个电极，与监测电路电连接；

柔性基板，覆盖在下电极薄膜上，且与上电极薄膜的接触面上具有支撑微结构，用于负载所述下电极薄膜和所述上电极薄膜，所述柔性基板的支撑微结构和所述下电极薄膜的导电微结构，均是在具有微结构列阵的模具上制备而成的。

8.根据权利要求7所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性聚合物为聚二甲基硅氧烷。

9.根据权利要求7所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述金属颗粒为金、银、铜中任一种。

10.根据权利要求7-9任一项所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述导电微结构和所述支撑微结构的形状均为锥型。