[发明专利]一种新型片式宽域汽车氧传感器及其制备方法有效
申请号: | 201611260599.8 | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN106706729B | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 赵涵睿;黄海琴;陈圣龙;韩旭 | 申请(专利权)人: | 莱鼎电子材料科技有限公司 |
主分类号: | G01N27/26 | 分类号: | G01N27/26 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 片式宽域 汽车 传感器 及其 制备 方法 | ||
1.一种片式宽域汽车氧传感器,其特征在于:所述传感器包括保护层、信号层以及加热层由上至下依次叠合后烧结而成;
所述信号层包括由上至下依次叠合的第一层流延基片、第二层流延基片、第三层流延基片、第四层流延基片以及第五层流延基片,在第一层流延基片的上表面设置一外反应电极,所述外反应电极的上表面与下表面分别设置一上外反应电极绝缘层与下外反应电极绝缘层,且在外反应电极上的上外反应电极绝缘层上表面还叠合一保护层;在第三层流延基片的下表面平行设置有一内反应电极和一参比反应电极,且内反应电极和参比反应电极处于同一水平面上,在内反应电极及参比反应电极的上表面与下表面分别设置覆盖两反应电极反应腔的上反应电极绝缘层和下反应电极绝缘层;在第四层流延基片的上表面设置扩散障碍层,且扩散阻碍层为带有气孔的蜂窝状结构;
参比反应电极引线A的一端与参比反应电极连接,另一端由下至上依次贯穿第三层流延基片、第二层流延基片以及第一层流延基片后的参比反应电极导出孔与外反应电极相连,形成参比电极引出电极引脚,内反应电极引线B的一端与内反应电极连接,另一端由下至上依次贯穿第三层流延基片、第二层流延基片以及第一层流延基片后的内反应电极导出孔与外反应电极相连,形成内反应电极引出电极引脚;
所述加热层包括由上至下依次叠合的第六层流延基片、第七层流延基片以及第八层流延基片,在第六层流延基片的上表面与第八层流延基片的下表面分别设置有一加热电极和一加热电极引脚;所述加热电极的上表面与下表面分别设置两上加热电极绝缘层与两下加热电极绝缘层,所述加热电极与加热电极引脚通过一引线C相连,该引线C的一端与加热电极相连,另一端由上至下依次贯穿第六层流延基片、第七层流延基片以及第八层流延基片上的加热电极导出孔与加热电极引脚相连,在第八层流延基片下表面与加热电极引脚上表面之间还设置有加热电极引脚绝缘层;
其中,所述第一层流延基片至第八层流延基片的材质均为氧化锆,厚度均为115μm;外反应电极、内反应电极以及参比反应电极采用多孔性催化能力强的铂电极,加热电极和加热电极引脚的材质选用铂浆料及对应的各绝缘层的材质选用与不同铂电极匹配的氧化铝。
2.一种权利要求1所述片式宽域汽车氧传感器的制备方法,其特征在于:所述制备方法具体步骤如下:
(1)制备多种流延浆料:
以5mol氧化钇稳定氧化锆为主要粉体,加入溶剂、分散剂、粘结剂和增塑剂,其中氧化锆粉体、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为:1000:(300~500):(10~30):(50~80):(20~40),通过球磨法制成稳定均匀的流延浆料;
以5mol氧化钇稳定氧化锆为主要粉体,以碳粉为造孔剂,加入溶剂、分散剂、粘结剂和增塑剂,其中氧化锆粉体、碳粉、溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂的质量比为:1000:(100~150):(300~500):(10~30):(50~80):(20~40),通过球磨法制成稳定均匀的流延浆料;
(2)流延成型:
将步骤(1)任意一种流延浆料在流延机上进行流延烘干定型,烘干温度为40~80℃,获得厚度为115μm的氧化锆流延生坯卷带;
(3)去边分切:
将115μm的氧化锆流延生坯卷带在自动裁片机上,裁成传感器上信号层的第一层流延基片、第二层流延基片、第三层流延基片、第四层流延基片和第五层流延基片,加热层的第六层流延基片、第七层流延基片和第八层流延基片;
(4)冲孔:
在裁好的第一层流延基片、第二层流延基片、第三层流延基片、第四层流延基片和第五层流延基片冲出参比反应电极导出孔和内反应电极导出孔;在第六层流延基片、第七层流延基片和第八层流延基片上冲出加热电极导出孔;
(5)丝网印刷:
在第一层流延基片上表面印刷氧化铝浆料,形成下外反应电极绝缘层,然后在下外反应电极绝缘层上表面印刷Pt电极浆料,形成外反应电极,再在外反应电极上表面印刷氧化铝浆料,形成上外反应电极绝缘层,最后在上外反应电极绝缘层印刷外电极保护层;
在第三层流延基片的下表面印刷氧化铝浆料,形成上反应电极绝缘层,然后在上反应电极绝缘层下表面印刷Pt电极浆料,形成平行设置的内反应电极和参比反应电极,最后在内反应电极和参比反应电极下表面印刷氧化铝浆料,形成下反应电极绝缘层;且在第四层流延基片的上表面印刷带有气孔的蜂窝状结构的扩散阻碍层;
在第六层流延基片上表面印刷两次氧化铝浆料,形成两下加热电极绝缘层,然后在下加热电极绝缘层上表面印刷Pt电极浆料,形成加热电极,最后在加热电极上表面印刷两次氧化铝浆料,形成两上加热电极绝缘层;
在第八层流延基片的下表面印刷氧化铝浆料,形成加热引脚绝缘层,然后在引脚绝缘层下表面印刷加热引脚;
其中每一次印刷都通过图形检测系统进行不良品的记录;
(6)叠片:
将所有印刷、填充好的第八层流延基片至第一层流延基片由下至上进行叠合,最后叠合上保护层形成氧传感器生坯;
(7)真空封塑:
在叠合后的氧传感器生坯下方垫上钢板,然后进行真空包装;
(8)温等静压:
对包装好的氧传感器生坯进行温水等静压压制,使所有流延基片叠合紧密,等静压温度为80℃,时间为30~60min,形成一个稳定的整体,等静压完成后擦干包装外面的水,取出氧传感器生坯;
(9)分切:
对压制好的氧传感器生坯进行加温切割,首先对氧传感器生坯进行预热处理,使PVB软化,便于切割,切割时同时对氧传感器生坯和刀片进行加热,切割成规则、精确的传感器基片;其中,切割预热温度为50~80℃,切割台板温度为60~80℃,切割刀口的温度为80℃;
(10)烧结:
把传感器基片按照顺序摆好在高温炉内,按照烧结程序进行烧结,烧结温度为1400~1500℃,保温时间为2h。
3.根据权利要求2所述片式宽域汽车氧传感器的制备方法,其特征在于:所述步骤(1)中的溶剂为无水乙醇和二甲苯,分散剂为改性鱼油,粘结剂为聚乙烯醇缩丁醛,增塑剂为邻苯二甲酸丁苄酯。
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