[发明专利]多样式产品的品质推估方法

说明书

本发明实施例提供一种多样式产品的品质推估方法。此品质推估方法是调整生产系统的状态改变前的工件样本的实际量测值数据，并使用工件样本的制程参数与调整后实际量测值数据，来建立或重新训练推估模型，以进行不同形式的下一工件(产品)的品质推估，因而可迅速且精确地预测产品品质。

技术领域

本发明是有关于一种产品的品质推估方法，且特别是有关于一种多样式产品的品质推估方法。

背景技术

现代工业技术的核心价值是将客户的要求整合至制造中，以强化产品、系统和服务来满足各种日益渐增的产品个人化的客制化。因此，现代工业技术将传统的制造技术由大量生产提升至多样式生产。多样式制造技术的要求是对客户的规格变化能有迅速且精确的反应。以轮框加工自动化为例，当加工条件改变以制作不同轮框型式(如不同的中心孔径等)时，具有多样式生产能力的轮框加工自动化单元必须能够迅速且精确的改变其制程条件和量测产品精度，以达到低成本、短交期和高品质的目标。量测产品精度的时间往往旷日废时，而且若不能及时量测到异常产品(工件)，更会影响到生产机台的制程稳定及提高产能与良率。

产品的品质推估技术是在工件产品尚未或无法进行实际量测的情况下，利用生产机台的制程数据，预测其所生产的产品的品质。产品的品质推估技术可应用于各种产业，例如：半导体产业、薄膜晶体管-液晶显示器(TFT-LCD)产业、和工具机加工产业，其中工件于半导体厂称为晶圆，于TFT-LCD厂则称为玻璃，于工具机加工厂则称为例如轮框、螺丝、螺帽等。应用产品的品质推估技术时，必须撷取大量的历史数据来对每一个生产系统或机台建立推估模型。然而，多样式生产往往是少量多样的生产模式，每一种产品型式经常没有大量的历史生产数据与产品量测数据。加上，短交期的要求更不容许等待大量产品制造后再产生生产数据与产品量测数据。因此，多样式产品的生产模式不利于产品的品质推估的建置。

发明内容

本发明的一目的是在提供一种产品的品质推估方法，借以提供可适用于多样式产品的生产模式的产品的品质推估技术。

本发明的又一目的是在提供一种多样式产品的品质推估方法，借以迅速且精确预测产品品质。

根据本发明上述目的，提出一种多样式产品的品质推估方法。在此方法中，首先，获得分别对应至多个第一工件的多组第一制程参数，其中这些组第一制程参数是在一生产系统分别处理这些第一工件时所搜集到或所使用。并获得分别对应至第一工件的多个第一实际量测值，其中这些第一实际量测值是由一量测机台分别对被生产系统处理后的第一工件进行量测而得。然后，计算一决定性样本集合(Determinative Samples DS)中的所有工件的实际量测值的平均值，而获得一第一平均实际量测值，其中此决定性样本集合中的工件是在生产系统处理完第一工件后被处理，此决定性样本集合中的工件的制程参数是在生产系统分别处理工件时所搜集到或所使用，此决定性样本集合中的工件的实际量测值是由量测机台分别对被生产系统处理后的工件进行量测而得。接着，对第一实际量测值进行排序后，计算排序后的第一实际量测值中每相邻的二第一实际量测值间的一差值的绝对值。然后，由第一工件中找出多个断点，这些断点为当前述的差值的绝对值大于或等于一断点门槛值时前述的每相邻的二第一实际量测值的一者所对应的工件。接着，根据这些断点将第一工件分成多个群组。然后，计算每一个群组中的所有工件的实际量测值的平均值，而获得多个第二平均实际量测值。接着，分别调整第一工件的实际量测值为多个标的量测值，其中每一个标的量测值为其对应的第一工件的实际量测值减其所属的群组的第二平均实际量测值后，再加上决定性样本集合的第一平均实际量测值。然后，使用第一工件的第一制程参数和标的量测值，并根据一预测演算法，来建立或重新训练一推估模型。