[发明专利]曝光装置、利用该曝光装置的器件制造系统和器件制造方法以及图案曝光方法

权利要求书

1.一种曝光装置，其特征在于，

具有：

照明光学系统，其将照明光传导至圆筒光罩，该圆筒光罩在相对于第一轴线以规定的曲率半径弯曲而成的曲面的外周面上具有图案；

基板支承筒，其具有相对于以与所述第一轴线平行的关系配置的第二轴线以规定的半径弯曲而成的外周面，沿着该外周面卷绕地支承有挠性的基板，并以所述第二轴线为中心进行旋转；

投影光学系统，其将被所述照明光照明的所述圆筒光罩的所述图案投影至由所述基板支承筒的所述外周面支承的所述基板；

更换机构，其更换所述圆筒光罩；和

调整部，其在所述更换机构将所述圆筒光罩更换为直径不同的圆筒光罩时，对所述照明光学系统的至少一部分和所述投影光学系统的至少一部分中的至少一方进行调整。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

在所述更换机构更换为所述直径不同的圆筒光罩时，

所述调整部在基于所述直径不同的圆筒光罩的信息，对所述照明光学系统的至少一部分和所述投影光学系统的至少一部分中的至少一方进行了调整之后，至少使用设于所述直径不同的圆筒光罩的外周面以及所述基板支承筒的支承所述基板的所述外周面的调整用的图案，来调整所述曝光装置。

3.如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，

所述直径不同的圆筒光罩在表面上具有存储信息的信息存储部，

所述直径不同的圆筒光罩的信息存储于所述信息存储部或者包含于与曝光条件有关的曝光信息，

所述调整部从所述信息存储部或者所述曝光信息获取所述直径不同的圆筒光罩的信息。

4.如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，

具有测量装置，该测量装置测量更换对象的圆筒光罩，来获取所述直径不同的圆筒光罩的信息。

5.如权利要求1～4中任一项所述的曝光装置，其特征在于，

所述投影光学系统具有在以包含彼此平行的所述第一轴线和所述第二轴线在内的平面作为中心面时以夹设该中心面的方式配置的第一投影光学系统以及第二投影光学系统，

所述照明光学系统向与所述第一投影光学系统的照明视野的位置对应的所述圆筒光罩上的第一照明区域、和与所述第二投影光学系统的照明视野的位置对应的所述圆筒光罩上的第二照明区域各自照射所述照明光。

6.如权利要求5所述的曝光装置，其特征在于，利用所述更换机构更换的所述直径不同的圆筒光罩配置成，在所述圆筒光罩的所述第一轴线和所述基板支承筒的所述第二轴线沿着所述中心面的间隔的方向上的、所述第一投影光学系统的照明视场的位置与所述第二投影光学系统的照明视场的位置不变。

7.如权利要求1～4中任一项所述的曝光装置，其特征在于，

能够与多个所述直径不同的圆筒光罩相对应地更换部件。

8.一种曝光装置，其特征在于，

具有：

光罩保持机构，其在相对于规定的轴线以规定半径弯曲成圆筒状的外周面上具有图案，以可更换的方式安装有彼此直径不同的多个圆筒光罩中的一个，并使其绕所述规定的轴线旋转；

照明系统，其将照明光照射于所述圆筒光罩的图案；

基板支承机构，其沿着弯曲的面或者平面支承基板，该基板通过来自被所述照明光照射的所述圆筒光罩的所述图案的光进行曝光；和

调整部，其根据安装于所述光罩保持机构的所述圆筒光罩的直径，至少对所述规定的轴线与所述基板支承机构之间的距离进行调整。

9.如权利要求8所述的曝光装置，其特征在于，

所述直径不同的多个圆筒光罩是在所述外周面上具有透射型的图案的透射型圆筒光罩，

所述调整部将安装于所述光罩保持机构的所述透射型圆筒光罩的外周面与所述基板支承机构所支承的所述基板之间的间隔设定在预先规定的允许范围内。