[发明专利]套刻机台测试焦点的套刻标记

权利要求书

1.一种套刻机台测试焦点的套刻标记，所述套刻标记包括横向标记和纵向标记；其特征在于，所述横向标记包括多个第一长标记和多个第一短标记，所述多个第一长标记与多个第一短标记平行排列；所述第一长标记包括第一长矩形标记和第一光栅状标记，所述第一长矩形标记与所述第一光栅状标记平行排列；所述第一短标记与所述第一长标记的排列形状相似，所述第一短标记的长度为第一长标记的长度1/4到1/3；所述纵向标记包括多个第二长标记和多个第二短标记，所述多个第二长标记与多个第二短标记平行排列；所述第二长标记包括第二长矩形标记和第二光栅状标记，所述第二长矩形标记与所述第二光栅状标记平行排列；所述第二短标记与所述第二长标记的排列形状相似，所述第二短标记的长度为第二长标记的长度1/4到1/3；

所述多个第一长标记与所述多个第二长标记呈口字型排列形成外层标记；所述多个第一短标记与所述多个第二短标记呈口字型排列形成内层标记，且所述内层标记被所述外层标记包围。

2.根据权利要求1所述的套刻机台测试焦点的套刻标记，其特征在于，所述第一长标记的宽度为2±0.4μm。

3.根据权利要求1所述的套刻机台测试焦点的套刻标记，其特征在于，所述第一短标记的宽度为2±0.4μm。

4.根据权利要求1所述的套刻机台测试焦点的套刻标记，其特征在于，所述第一长矩形的宽度为1±0.2μm。

5.根据权利要求1所述的套刻机台测试焦点的套刻标记，其特征在于，所述第一光栅状标记包括多个小矩形，所述小矩形的宽度为0.08±0.01μm，多个小矩形之间的距离为0.08±0.01μm。

6.根据权利要求1所述的套刻机台测试焦点的套刻标记，其特征在于，所述第一长标记的长度为18±2μm。

7.根据权利要求1所述的套刻机台测试焦点的套刻标记，其特征在于，所述第一长标记与相邻排列的所述第一短标记之间的距离为1±0.2μm。

8.根据权利要求1所述的套刻机台测试焦点的套刻标记，其特征在于，所述第一短标记的长度为6±1μm。

9.根据权利要求1所述的套刻机台测试焦点的套刻标记，其特征在于，所述第一长标记的光栅状标记与相邻排列的所述第一短标记的光栅状标记相对或相背。

10.根据权利要求1所述的套刻机台测试焦点的套刻标记，其特征在于，所述第二长标记的光栅状标记与相邻排列的所述第二短标记的光栅状标记相对或相背。