[发明专利]一种直写式丝网制版设备的曝光方法有效

专利信息
申请号: 201611267959.7 申请日: 2016-12-31
公开(公告)号: CN106647184B 公开(公告)日: 2019-06-14
发明(设计)人: 吴景舟;马迪;陈修涛;王运钢;董辉;李泽忠;其他发明人请求不公开姓名 申请(专利权)人: 江苏九迪激光装备科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221341 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 焦面 丝网制版 直写 数字微镜器件 位移传感器 光学镜头 不一致 装配 测量 扫描 映射关系调整 光均匀性 焦面位置 能量输出 扫描平台 寿命延长 位置偏离 位置偏移 位置信号 映射关系 预先建立 控制器 曝光 不均匀 曝光点 扫描时
【说明书】:

发明公开了一种直写式丝网制版设备及其使用方法,现有技术中,存在因装配位移传感器和曝光点之间位置偏移而导致测量的焦面和实际焦面不一致的问题。本发明提供的直写式丝网制版设备和焦面控制方法利用一个Z轴控制器预先建立下一步需要扫描的扫描带的焦面位置和扫描平台位置信号之间的映射关系,在下一步扫描时,根据这个映射关系调整光学镜头位置,避免了因装配位移传感器和光学镜头之间位置偏离而导致测量的焦面和实际焦面不一致的问题。本发明还提供了一种利用感兴区域曝光的方法和一种在线实时光均匀性补偿的方法,解决了数字微镜器件寿命延长和数字微镜器件上能量输出分布不均匀的问题。

技术领域

本发明涉及丝网制版技术领域,具体涉及一种直写式丝网制版设备的曝光方法

背景技术

现有的激光直写设备中,一般利用曝光点旁边的位移传感器来测量曝光点位置上光学镜头距离网板的距离,虽然曝光点位置紧靠着位移传感器,他们相距很短的一个距离,但是他们两者实际上并不处于同一位置;因此,用位移传感器测量出的距离也不是光学镜头距离网板的实际距离,虽然他们在大部分情况下非常接近。

现有技术中,利用上述测量的距离来调整曝光点处光学镜头的焦面,因为位移传感器装配位置和曝光点位置之间不一致,使用位移传感器测量的距离来调整光学镜头的焦面会导致误差存在。

此外,现有的激光直写设备中,其数字微镜器件往往整版面使用,由于数字微镜器件由大量的微镜组成当部分微镜功能失效时整个数字微镜器件报废,造成了数字微镜器件利用率不高以及服役寿命相对较短的缺点。

此外,现有的激光直写设备中,其数字微镜器件在扫描过程中,各个微镜点的扫描轨迹上,各个轨迹的能量分布是不均匀的,导致了数字微镜器件上能量输出分布不均匀的问题。影响图像曝光质量。

发明内容

本发明目的在于提供一种直写式丝网制版设备的曝光方法,可以解决上述问题。

为了实现上述目的,本发明提供一种直写式丝网制版设备,用于丝网印刷的制版工艺,包括主机、运动系统、光源控制器、光源、数据处理模块、数字微镜器件、Z轴控制器、光学镜头、信号分路器、位移传感器,Z轴机构和微动机构;

所述的运动系统由步进平台、扫描平台以及平台驱动器组成,其中平台驱动器与主机相连,用于并驱动步进平台和扫描平台运动;

所述的光源控制器与主机相连并控制光源的开关状态以及光强,光源为数字微镜器件提供的连续输出的光能量,数字微镜器件输出的光经过光学镜头后变成均匀的面光;

所述的数据处理模块与主机相连并在主机的控制下驱动数字微镜器件完成图像生成和投射;

所述的光学镜头由Z轴机构和微动机构共同带动进行垂直方向的上下动作,Z轴机构起到低频调节作用,微动机构起到高频调节作用;

所述的Z轴控制器与主机相连,用于综合处理Z轴机构传过来的Z轴读数、位移传感器传过来的测量数据以及信号分路器传递过来的位置数据;所述的Z轴控制器还控制Z轴机构和微动机构动作,用于调整光学镜头与待曝光网板间的距离;光学镜头在Z轴控制器的间接控制下调整高度距离将数字微镜器件投射过来的图像清晰聚焦后投往网板表面进行曝光;

所述的信号分路器与扫描平台相连,并将扫描平台的位置信号同步送往数据处理模块和Z轴控制器;

所述的位移传感器与光学镜头并列齐平安装,位移传感器用于测量光学镜头与待曝光网板间的实际距离,并将测量结果传给Z轴控制器;

所述的步进平台用于承载待曝光网板并带动网板运动;所述的扫描平台用于承载Z轴机构、微动机构、数字微镜器件、光学镜头和位移传感器,并带动他们运动。

优选的,上述直写式丝网制版设备的数据处理模块内集成有误差修正单元,误差修正单元用于修正信号分路器送过来的扫描平台位置信号。

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