[发明专利]一种TFT玻璃基板表面预处理组合物

说明书

一种TFT玻璃基板表面预处理组合物，由以下组分组成：质量百分比含量5‑8％的盐酸(HCl)，质量百分比含量5‑8％的硝酸(HCl)质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分比含量2‑4％的羟丙基甲基纤维素(HPMC)质量百分比0.3～0.4％的柠檬酸三乙酯、质量百分比0.1～0.2％的依地酸钙钠及余量的水。

技术领域

本发明涉及用于液晶显示屏玻璃基板蚀刻预处理的组合物。

背景技术

在超薄TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)液晶显示屏生产时，需要采用氢氟酸蚀刻液对完成封装的玻璃基板进行薄化处理，但在薄化过程中因玻璃基板的特性及表面不可避免的微小缺陷，往往产生局部过蚀凹坑，需要再进行长时间的抛光处理，严重的甚至导致整个玻璃基板报废。现有技术中为解决这个问题采用以浓硫酸为基础配制的预处理液在薄化处理前对液晶屏的玻璃基板进行预处理，由于加入了大量的浓硫酸，预处理工序后产生的废液难于进行处理。因此提供一种新的液晶显示屏玻璃基板薄化预处理用产品，在提高处理效果的基础上降低污染排放，成为现有技术中亟待解决的问题。

发明内容

为解决前述技术问题，本发明提供了一种TFT玻璃基板表面预处理组合物及其处理工艺，通过优化处方和处理工艺，成功的实现了避免了浓硫酸等造成严重污染且难于处理的原材料的使用。

本发明提供了一种TFT玻璃基板表面预处理组合物，其特征在于所述组合物由以下组分组成：

质量百分比含量5-8％的盐酸(HCl)，质量百分比含量5-8％的硝酸(HCl)质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分比含量2-4％的羟丙基甲基纤维素(HPMC)质量百分比0.3～0.4％的柠檬酸三乙酯、质量百分比0.1～0.2％的依地酸钙钠及余量的水。

所述的一种TFT玻璃基板表面预处理组合物，其特征在于以如下方法配制，

1)将处方量盐酸、氢氟酸和硝酸混合，并加入适量水稀释，加入处方量的依地酸钙钠；

2)将处方量HPMC溶于处方量30～40％的水中，加入处方量的柠檬酸三乙酯，

3)在步骤2)的混合溶液中，在剧烈搅拌下先后加入缓慢加入步骤1)的混合液，补足余量的水后搅拌至混合均匀。

在研究中我们意外的发现，将HPMC、柠檬酸三乙酯及依地酸钙钠配合并加入混合稀酸后可以用于对TFT玻璃基板薄化工艺的预处理，并能够显著降低后续的氢氟酸蚀刻薄化工艺后基板表面的凹坑，从而避免了现有技术中采用浓硫酸为主要成分的预处理剂在使用时的不安全性和废液难于处理的问题。在研究中发现，本发明提供的组合物对TFT玻璃基板的CF面和TFT面均有良好的预处理效果，且HPMC、柠檬酸三乙酯及依地酸钙钠组方互相配合从而实现本发明组合物的预处理效果。进一步研究发现，本发明采用的预处理工艺，优选了温度范围与温度变化程序，与本发明的表面预处理液配合能够产生良好的预处理效果。

具体实施方式

本发明提供的一种TFT玻璃基板表面预处理组合物，以如下方法配制，

1)将处方量盐酸、氢氟酸和硝酸混合，并加入适量水稀释，

2)将处方量HPMC溶于处方量30～40％的水中，加入处方量的吐温-80，

3)将处方量卡波姆940于适量水中溶解；

4)在步骤2)的混合溶液中，在剧烈搅拌下先后加入缓慢加入步骤1)的混合液，然后再讲步骤3)的混合液加入，补足余量的水后搅拌至混合均匀。

实施例1～4配方见下表(质量百分比wt％)

对实施例1～4得到的组合物进行薄化预处理的方法如下